[实用新型]多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路有效
| 申请号： | 201220041639.0 | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN202519366U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 宋令枝;吴胜勇;吕加先;张涌 | 申请（专利权）人： | 苏州盛康光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 太阳能 电池 硅片 扩散 用进气 管路 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路（1），所述进气主管路（1）的前端与管式扩散炉（2）的进气端连接，所述进气主管路（1）的后端连接有氧气进气管路（3）和大氮进气管路（4），所述进气主管路（1）的中间通过磷源管路（5）连接有磷源瓶（6），所述磷源瓶（6）上连接有小氮进气管路（7）。
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