[实用新型]多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能光伏电池，特别涉及一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，属于太阳能电池制造领域。

背景技术

兴起于上世纪八十年代的多晶硅太阳电池技术，经过进三十年的积累与改进，已成功将该技术应用于大规模多晶硅太阳电池生产中。全球光伏发电装机总量的突破，得益于诸如德国Centrotherm Photovoltaics、荷兰Tempress Systems等公司提供的卓越的管式扩散方案。这些适用于多晶硅的管式扩散炉从控温方式、抽排风处理、软着陆等系统都进行了独特的设计，满足多晶硅大规模生产的需要。

如图2所示，传统扩散方法的大氮进气管路设置于磷源管路的前端，由于大氮的气流干扰，不利于磷源的快速导出，这种设计使得扩散过程中磷源利用率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供了一种扩散过程中磷源利用率较高的多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路包括进气主管路，所述进气主管路的前端与管式扩散炉的进气端连接，所述进气主管路的后端连接有氧气进气管路和大氮进气管路，所述进气主管路的中间通过磷源管路连接有磷源瓶，所述磷源瓶上连接有小氮进气管路。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，大氮进气管路设置于磷源管路的后端，大氮可以迅速将磷源带入管式扩散炉的炉管，从而提高了磷源利用率。

附图说明

图1为本实用新型多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路的进气管路示意图。

图2为传统多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路的进气管路示意图。

其中：

进气主管路1

管式扩散炉2

氧气进气管路3

大氮进气管路4

磷源管路5

磷源瓶6

小氮进气管路7。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型涉及的一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路包括进气主管路1，所述进气主管路1的前端与管式扩散炉2的进气端连接，所述进气主管路1的后端连接有氧气进气管路3和大氮进气管路4，所述进气主管路1的中间通过磷源管路5连接有磷源瓶6，所述磷源瓶6上连接有小氮进气管路7。