[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置有效
| 申请号： | 201220047131.1 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN202626351U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 游达;吴义华;黄春来;周声浪;权祥 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 铸锭 进气排杂 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置，其特征在于，所述进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，所述进气管与所述分流组件相连。
2.根据权利要求1所述的进气排杂装置，其特征在于，所述分流组件包括一个上板与一个固定于上板上的下板，所述上板与所述下板之间形成一个空腔，所述下板上设置多个孔径小于进气管的孔径的出气孔，通入进气管的气体经过所述空腔后从所述多个出气孔排出。
3.根据权利要求2所述的进气排杂装置，其特征在于，所述多个出气孔均匀分布在所述下板上。
4.根据权利要求2所述的进气排杂装置，其特征在于，所述上板与所述下板之间的距离为0.5厘米到10厘米。
5.根据权利要求1所述的进气排杂装置，其特征在于，所述分流组件为一个圆锥形的导流板，所述导流板形成一个允许气体通过的圆锥体腔体。
6.根据权利要求5所述的进气排杂装置，其特征在于，所述导流板形成的圆锥的顶角角度为5度到45度。
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