[实用新型]一种液态源的汽化装置有效
| 申请号： | 201220066944.5 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN202452106U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李东升;龚小雷;缪南山;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 液态 汽化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置(1)上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管(1)，液位计套管(2)内设有液位计内芯(3)，液位计内芯(3)的上端从液位计套管(2)中露出，液位计套管(2)的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管(6)，加热器套管(6)内设有加热器内芯(7)，加热器内芯(7)的上端从加热器套管(6)中露出，加热器套管(6)的上端密封。
2.如权利要求1所述的一种液态源的汽化装置，其特征在于，所述液位计内芯(3)采用磁簧开关感应内芯。
3.如权利要求1所述的一种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的液位计套管(2)采用不锈钢，液位计套管(2)上设有出线，所述出线采用200℃以上耐高温线。
4.如权利要求1所述的一种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的浮球采用不锈钢316L。
5.如权利要求1所述的一种液态源的汽化装置，其特征在于，所述的加热器套管(6)采用不锈钢316L。
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