[实用新型]一种液态源的汽化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种汽化装置，尤其涉及一种液态源汽化装置。

背景技术

液态源和特种气体一样，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能参与工艺反应。如光纤预制棒的制造工艺需要用到SiCl4、GeCl4、POCl3等液态源。用于芯层和包层的沉积工艺。硅基太阳能电池生产中用到的POCl3，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DEZn，蒸发后参与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TEOS，经过蒸发进入反应腔，生成SiO2绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。

工艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个输送系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置的性能好坏将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。

本申请人在申请号201120160974.8的实用新型专利中公开了一种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压力表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出口处设置有质量流量计和蒸汽出口阀门。汽化过程在汽化容器中完成，并根据终端用量需求切换使用蒸发模式或鼓泡模式，来实现汽化过程的控制。但此装置的液位计和加热器焊接固定在装置本体上，装置不可根据需求更换不同材料、规格的液位计和加热器。因此装置的应用灵活性受到局限。本实用新型公布的装置，改良了液位计和加热器的应用形式，可根据需求更换不同的材质、规格的液位计内芯和加热器内芯，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。

发明内容

本实用新型的目的是在现有技术的基础上，提供一种液态源汽化装置，用于高纯液态源蒸发或鼓泡功能的实现，使系统在压力、液位、温度精确控制的同时具备更强的可操作性，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用灵活性得到大幅度改善。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管，加热器套管内设有加热器内芯，加热器内芯的上端从加热器套管中露出，加热器套管的上端密封。

所述液位计内芯采用磁簧开关感应内芯。

所述的液位计套管采用不锈钢，液位计套管上设有出线，所述出线采用200℃以上耐高温线。

所述的浮球采用不锈钢316L。

所述的加热器套管采用不锈钢316L。

本实用新型中的液位计与加热器均使用套管与内芯分体式装配，可根据需求选用不同形式的液位计内芯和不同功率、材质的加热器内芯。本实用新型中的加热器由不锈钢加热套管和加热内芯组成，可根据需求更换不同功率、材质的加热内芯。本实用新型应用灵活性强，应用范围广，液位计及加热器的套管的上端都采用卡套、卡箍等快速密封部件，方便更换内芯，更换时不影响装置的正常工作，保证系统稳定性。本实用新型采用高级别材料保证高纯环境，避免污染高纯液态源，有效降低环境污染和人身伤害可能性。

本实用新型在现有汽化装置的基础上，改变了液位计和加热器的应用形式，配置的液位计内芯和加热器内芯可根据需要更换材质和规格，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种液态源的汽化装置的结构示意图。

图中：

1、汽化装置；         5、限位卡簧；

2、液位计套管；       6、加热器套管；

3、液位计内芯；       7、加热器内芯。

4、快速密封部件；

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型进行详细描述。

实施例