[实用新型]直立式电浆产生装置

权利要求书

1.直立式电浆产生装置，包括：

一第一腔体，该第一腔体的外表面电性接地，且具有一第一进气口及一第一出气口，其中第一进气口用以通入制程气体，第一出气口则用以排出制程气体；

至少两个第二腔体，配置于第一腔体的内部，其具有一第二进气口及一第二出气口，其中第二进气口通过第一进气口引入制程气体，第二出气口则通过第一出气口排出制程气体；

一第一加热组件，配置于第一腔体与第二腔体之间，用以加热该些第二腔体的一第一表面；

一第二加热组件，配置于该第一腔体与该些第二腔体之间，用以加热第二腔体的一第二表面；

至少两个电极板，配置于第二腔体的内部，用以呈载至少一制程基板；以及

至少一射频电流源，设置于第一腔体外部，电性连接电极板，用以提供一射频电流以产生电浆于第二腔体内；

其中，第一加热组件与第二加热组件的表面温度可达到1000℃，由至少两条条状加热丝所形成；条状加热丝弯折。

2.根据权利要求1所述的直立式电浆产生装置，其特征在于，所述第一加热组件与第二加热组件使第二腔体的内部温度达到200℃至300℃之间。

3.根据权利要求1所述的直立式电浆产生装置，还包括至少一阻抗匹配器，电性连接于射频电流源与电极板之间。

4.根据权利要求1所述的直立式电浆产生装置，其特征在于，所述射频电流的频率在10至150MHz之间。

5.根据权利要求1所述的直立式电浆产生装置，其特征在于，所述第二腔体下方包括至少两个屏蔽单元，配置于第二腔体中，具有至少两个孔洞，用以排出第二腔体的制程气体。

6.根据权利要求5所述的直立式电浆产生装置，其特征在于，所述屏蔽单元下方还包括一第三加热组件。