[实用新型]半蚀刻网格框有效
| 申请号： | 201220080494.5 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN202473833U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈雪尧;梁泰频;何公明;王满根;史小军 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/02 | 分类号： | H01J29/02 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 网格 | ||
【权利要求书】：
1.一种半蚀刻网格框，包括金属基板(1)以及位于金属基板(1)上的多个通孔(2)，所述通孔(2)的周边形成网格框(3)，其特征在于：所述通孔(2)通过光蚀刻加工贯穿整个金属基板(1)，所述网格框(3)通过半蚀刻加工，厚度小于金属基板(1)的原厚度。
2.如权利要求1所述的半蚀刻网格框，其特征在于：该金属基板(1)的厚度为0.15mm，网格框(3)的厚度为0.07mm～0.11mm。
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