[实用新型]一种偏置平板调整装置有效
申请号: | 201220089822.8 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN202533713U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 鲁武旺;李志丹;王成才;章富平 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 偏置 平板 调整 装置 | ||
1.一种偏置平板调整装置,设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度,所述偏置平板调整装置包括旋转轴系和驱动机构,所述旋转轴系和驱动机构分别设置于所述调焦调平主框架板上,其特征在于,所述驱动机构包括一楔形块,所述楔形块设置于所述旋转轴系上。
2.根据权利要求1所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述驱动机构包括驱动机构支架、电机、丝杠组件、连接块、导轨以及球面导向器,所述丝杠组件包括第一丝杠支撑件、第二丝杠支撑件以及丝杠,所述第一丝杠支撑件、第二丝杠支撑件与所述导轨安装于所述驱动机构支架上,所述电机与所述丝杠连接,所述球面导向器通过所述连接块与所述丝杠固定连接,所述电机带动所述丝杠转动,所述丝杠带动所述连接块沿所述导轨上下运动。
3.根据权利要求2所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述球面导向器与所述楔形块线接触。
4.根据权利要求2所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述驱动机构还包括一拉紧弹簧,所述拉紧弹簧的一端和所述楔形块连接,另一端和所述调焦调平主框架板连接。
5.根据权利要求1所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述旋转轴系包括偏置镜、偏置镜座以及旋转轴,所述偏置镜设于所述偏置镜座内,所述偏置镜座设于所述旋转轴上。
6.根据权利要求5所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述调焦调平主框架板设有用于容置所述旋转轴的通孔,所述偏置镜座设置于所述旋转轴上。
7.根据权利要求5所述的偏置平板调整装置,其特征在于,还包括一用于锁住所述旋转轴系的制动装置,所述制动装置设置于调焦调平主框架板的下方。
8.根据权利要求7所述的偏置平板调整装置,其特征在于,所述制动装置包括制动轴和制动器件,所述制动器件固定设置于调焦调平主框架板的所述通孔处,且所述制动器件位于所述调焦调平主框架板的下方,所述旋转轴具有一中心孔,所述制动轴的上端卡合于所述旋转轴的中心孔中,所述制动轴的另一端穿设于所述制动器件内部。
9.根据权利要求5的偏置平板调整装置,其特征在于,还包括一角度传感器,所述角度传感器设置于所述旋转轴上。
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