[实用新型]一种偏置平板调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种调整装置，尤其涉及一种偏置平板调整装置。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应的，对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了对硅片的表面进行高精度的检测，需要调焦调平系统测量硅片上表面的高度与倾斜信息。

在调焦调平系统的测量过程中，当投影物镜焦面发生漂移后，若不对其焦面位置进行校正补偿，会使调焦调平的测量点中心与投影物镜曝光视场不重合，引起测量误差。这种情况下为了校正补偿，采用在光路中加一个偏置平板，并通过对片偏置平板旋转角度的调整来实现对焦面位置漂移的校正和补偿。目前所常用的两种结构如图1和图2所示：

如图1所示，旋转电机2直接带动偏置平板1旋转。该调整装置的不足之处在于，由于偏置平板1是直接由旋转电机2带动做旋转运动，此种方式直接导致目前的一般电机无法满足调整偏置平板所需的旋转精度。

如图2所示，偏置平板1与杠杆3连接，杠杆的一端架设在凸轮4顶端，步进电机(未图示)驱动凸轮4绕轴40旋转来带动杠杆3移动。由于凸轮轴40到凸轮4边缘的距离是变化的，因此，当凸轮4绕轴40旋转180°时，杠杆3及偏置平板1的位置从图2中的实线位置移动到虚线位置，从而达到利用凸轮4的旋转控制偏置平板1的旋转角的目的。此调整装置的不足之处在于凸轮加工复杂，制造成本过高。

于2010年10月20日公开的公开号是CN201611424U的中国实用新型专利针对图2的结构进行了改进，其结构如图3所示，该装置采用具有楔面520的柱体52代替凸轮从而降低了加工制造难度，但该装置对电机的精度要求依然比较高。

因此，如何提供一种可以有效降低对电机的精度要求的偏置平板调整装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供偏置平板调整装置，可以有效降低对电机的精度要求。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供了一种偏置平板调整装置，设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度，所述偏置平板调整装置包括旋转轴系和驱动机构，所述旋转轴系和驱动机构分别设置于所述调焦调平主框架板上，所述驱动机构包括一楔形块，所述楔形块设置于所述旋转轴系上。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述驱动机构包括驱动机构支架、电机、丝杠组件、连接块、导轨以及球面导向器，所述丝杠组件包括第一丝杠支撑件、第二丝杠支撑件以及丝杠，所述第一丝杠支撑件、第二丝杠支撑件与所述导轨安装于所述驱动机构支架上，所述电机与所述丝杠连接，所述球面导向器通过所述连接块与所述丝杠固定连接，所述电机带动所述丝杠转动，所述丝杠带动所述连接块沿所述导轨上下运动。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述球面导向器与所述楔形块线接触。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述驱动机构还包括一拉紧弹簧，所述拉紧弹簧的一端和所述楔形块连接，另一端和所述调焦调平主框架板连接。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述旋转轴系包括偏置镜、偏置镜座以及旋转轴，所述偏置镜设于所述偏置镜座内，所述偏置镜座设于所述旋转轴上。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述调焦调平主框架板设有用于容置所述旋转轴的通孔，所述偏置镜座设置于所述旋转轴上。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，还包括一用于锁住所述旋转轴系的制动装置，所述制动装置设置于调焦调平主框架板的下方。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，所述制动装置包括制动轴和制动器件，所述制动器件固定设置于调焦调平主框架板的所述通孔处，且所述制动器件位于所述调焦调平主框架板的下方，所述旋转轴具有一中心孔，所述制动轴的上端卡合于所述旋转轴的中心孔中，所述制动轴的另一端穿设于所述制动器件内部。

优选的，在上述的的偏置平板调整装置中，还包括一角度传感器，所述角度传感器设置于所述旋转轴上

本实用新型的有益效果如下：