[实用新型]一种抗冲击压力传感器有效
| 申请号： | 201220092800.7 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN202582797U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 杨汇鑫 | 申请（专利权）人： | 东莞市五峰科技有限公司;湛江市科海科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B81B7/00 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冲击 压力传感器 | ||
1.一种抗冲击压力传感器，包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，所述绝缘层设置于所述基板，所述电极设置于所述绝缘层，所述悬臂梁的一端设置于所述电极，所述悬臂梁的另一端悬空，其特征在于：所述悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。
2.根据权利要求1所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁长度设置为40微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为8微米。
3.根据权利要求1所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁长度设置为30微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为6微米。
4.根据权利要求1所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁长度设置为20微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为4微米。
5.根据权利要求1所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁设置为两根或两根以上，所述悬臂梁并联设置。
6.根据权利要求5所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁设置为2至999根。
7.根据权利要求6所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁设置为30根。
8.根据权利要求6所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述悬臂梁设置为100根。
9.根据权利要求1所述的一种抗冲击压力传感器，其特征在于：所述绝缘层设置为多晶碳化硅层，所述多晶碳化硅层包括n掺杂的硅片子层、二氧化硅子层和低应力的氮化硅子层，所述二氧化硅子层和低应力的氮化硅子层设置于所述n掺杂的硅片子层上。
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