[实用新型]一种抗冲击压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种抗冲击压力传感器。 

背景技术

传感器是一种能感受规定的被测量件并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。它是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测到的信息按一定规律转换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，是实现自动检测和自动控制的重要环节。 

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床和管道等众多行业。 

现有技术中，悬臂梁是一种应用非常普遍的传感器结构，虽然存在多种结构类型，但皆存在共同的特征：其一端固定，另一端悬空。当外界环境发生改变时，其弯曲程度或者振动特征发生改变，通过安装在悬臂梁上的电极或者器件，检测出这些变化，进而获得外界环境的改变量。为了增大改变以提高检测的灵敏度，设计者往往会延长悬臂梁的长度，但这样会带来一个问题：当受到较大的机械振动冲击时，悬臂梁很容易发生不可逆的形变，造成器件损坏，限制了其应用范围。 

发明内容

本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足之处而提供一种抗冲击压力传感器，该抗冲击压力传感器有效地解决了基于悬臂梁的传感器易受振动冲击损坏的缺点，扩大了传感器的应用范围，传感器结构简单，生产成本低，制备工艺简单。 

本实用新型的目的通过以下技术方案实现。 

一种抗冲击压力传感器，包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，所述绝缘层设置于所述基板，所述电极设置于所述绝缘层，所述悬臂梁的一端设置于所述电极，所述悬臂梁的另一端悬空，所述悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。 

优选的，所述悬臂梁长度设置为40微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为8微米。 

另一优选的，所述悬臂梁长度设置为30微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为6微米。 

另一优选的，所述悬臂梁长度设置为20微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为4微米。 

另一优选的，所述悬臂梁设置为两根或两根以上，所述悬臂梁并联设置。 

更优选的，所述悬臂梁设置为2至999根。 

进一步的，所述悬臂梁设置为30根。 

另一优选的，所述悬臂梁设置为100根。 

另一优选的，所述绝缘层设置为多晶碳化硅层，所述多晶碳化硅层包括n掺杂的硅片子层、二氧化硅子层和低应力的氮化硅子层，所述二氧化硅子层和低应力的氮化硅子层设置于所述n掺杂的硅片子层上。  

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的一种抗冲击压力传感器，包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，绝缘层设置于基板，电极设置于绝缘层，悬臂梁的一端设置于电极，悬臂梁的另一端悬空，悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。现有技术的悬臂梁长度一般为50至200微米，但抗高振动冲击能力差，本实用新型通过缩短悬臂梁的长度和悬臂梁悬空部分的长度以提高抗高振动冲击的能力，有效地解决了基于悬臂梁的传感器易受振动冲击损坏的缺点，扩大了传感器的应用范围，传感器结构简单，生产成本低，制造工艺简单。

附图说明

利用附图对本实用新型做进一步说明，但附图中的内容不构成对本实用新型的任何限制。 

图1是本实用新型一种抗冲击压力传感器的结构示意图。 

图2是图1沿着悬臂梁长度方向的剖面结构示意图。 

在图1和图2中包括有： 

基板1、

悬臂梁2、

电极3、

绝缘层4。

具体实施方式

结合以下实施例对本实用新型作进一步说明。 

实施例1。

一种抗冲击压力传感器，如图1和图2所示，包括有基板1、悬臂梁2、电极3和绝缘层4，绝缘层4设置于基板1，电极3设置于绝缘层4，悬臂梁2的一端设置于电极3，悬臂梁2的另一端悬空，悬臂梁2长度设置为小于或等于50微米，悬臂梁2悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。