[实用新型]曝光机

权利要求书

1.一种曝光机，包括机台和激光测长装置，其特征在于，

所述激光测长装置包括激光器、反光装置、第一方向测长部与第二方向测长部；

所述反光装置设置在所述机台上，所述反光装置包括第一方向反光部和第二方向反光部；

所述第一方向测长部与第二方向测长部均包括至少两个激光发射接收装置；

所述第一方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第一方向反光部，并接收经所述第一方向反光部反射后返回的激光；

所述第二方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第二方向反光部，并接收所述第二方向反光部反射回的激光。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述激光测长装置还包括总分光装置，所述激光器产生的激光经所述总分光装置分为两束，分别提供给第一方向测长部与第二方向测长部。

3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，所述总分光装置为半反半透装置。

4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于，

所述第一方向测长部包括两个激光发射接收装置、第一方向分光装置和第一方向激光路线弯曲装置；

所述提供给第一方向测长部的激光经所述第一方向分光装置分为两束，其中一束提供给所述第一方向测长部的一个激光发射接收装置，另一束提供给所述第一方向激光路线弯曲装置，经所述第一方向激光路线弯曲装置弯曲后提供给所述第一方向测长部的另一个激光发射接收装置。

5.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述第一方向分光装置为半反半透装置。

6.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于，

所述第二方向测长部包括两个激光发射接收装置、第二方向分光装置和第二方向激光路线弯曲装置；

所述提供给第二方向测长部的激光经所述第二方向分光装置分为两束，其中一束提供给所述第二方向测长部的一个激光发射接收装置，另一束提供给所述第二方向激光路线弯曲装置，经所述第二方向激光路线弯曲装置弯曲后提供给所述第二方向测长部的另一个激光发射接收装置。

7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述第二分光装置为半反半透装置。

8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述机台的第一反光部和第二反光部为平面镜。

9.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，

所述激光测长装置还包括控制装置，所述控制装置与所述各激光发射接收装置相连接，所述控制装置根据所述第一方向测长部的各激光发射接收装置接收的经所述第一方向反光部反射后返回的激光，计算所述机台与所述第一方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离，根据所述第二方向测长部的各激光发射接收装置接收的经所述第二方向反光部反射后返回的激光，计算所述机台与所述第二方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离。

10.根据权利要求9所述的曝光机，其特征在于，还包括光罩，与所述控制装置相连接，所述控制装置根据所述机台与所述第一方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离以及所述机台与所述第二方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离控制光罩进行移动。

11.根据权利要求9或10所述的曝光机，其特征在于，所述控制装置包括比较器，所述比较器通过比较所述机台与所述第一方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离确定所述机台在第一方向是否倾斜或平坦，所述比较器通过比较所述机台与所述第二方向测长部的各激光发射接收装置之间的距离确定所述机台在第二方向是否倾斜或平坦。