[实用新型]曝光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及曝光技术领域，尤其涉及一种曝光机。

背景技术

曝光机的对位精度是曝光机的重要参数之一，影响曝光对象的曝光效果。目前，曝光机主要依靠激光测长进行精确对位。现有技术中，使用激光测长的曝光机包括机台，并在机台的两个方向上设置有测量点，其中一个方向设置有两个测量点，另一个方向设置有一个测量点。

曝光机中产生的激光被分成三束到达曝光机机台上的三个测量点并被反射回来，根据反射的激光可以计算出曝光机机台的移动距离，并与设定的移动距离进行对比，算出差值，然后控制光罩的移动补正差值，以实现曝光机的对位过程。

然而上述对位过程仅依靠三个测量点完成，对位过程不够精确。并且在对位时需保证曝光机机台在两个方向上保持不变。在机台运动时间很长之后，机台在两个方向上发生倾斜时，无法测出只有一个测量点的机台方向是否发生倾斜，造成曝光机对位失准。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种曝光机，能够提高曝光机的对位精度。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种曝光机，包括机台和激光测长装置，所述激光测长装置包括激光器、反光装置、第一方向测长部与第二方向测长部；

所述反光装置设置在所述机台上，所述反光装置包括第一方向反光部和第二方向反光部；

所述第一方向测长部与第二方向测长部均包括至少两个激光发射接收装置；

所述第一方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第一方向反光部，并接收经所述第一方向反光部反射后返回的激光；

所述第二方向测长部的各激光发射接收装置接收来自所述激光器产生的激光，并将所述接收的激光发射至所述第二方向反光部，并接收所述第二方向反光部反射回的激光。

本实用新型实施例提供的曝光机，包括两个方向的测长部，并且每个测长部均包括两个激光发射接收装置，每个测长部均能获得两组反应曝光机位置的数据信息，所述曝光机进而能够进行精确定位，与现有技术中只有三个测量点的曝光机相比，提高了曝光机的对位精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种曝光机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的曝光机的机台与光罩相对位置示意图；

图3a为本实用新型实施例提供的一种曝光机在机台发生倾斜时的结构示意图；

图3b为本实用新型实施例提供的一种曝光机在机台发生倾斜时的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下以一具体实施例对本实用新型的曝光机进行详细说明。

本实施例提供了一种曝光机，如图1所示，包括：

机台1和激光测长装置2，激光测长装置2包括激光器6、反光装置3、X方向(第一方向)测长部7、Y方向(第二方向)测长部8及总分光装置16；

其中，激光器6是指激光产生装置，用来产生激光9，显然，本实用新型实施例对激光器6的具体种类不作限定，本领域技术人员可以根据实际测量需要选择激光器6的类型；

可选的，在本实用新型实施例中，总分光装置16具体为半反半透装置，能将进入其中的激光分为两束，能够使激光器6产生的激光9中的一部分沿原传播方向透过，另一部分以一定角度如90度反射出去。当然，本领域技术人员还可根据本领域公知常识或常用技术手段选择其他的光学器件，本实用新型实施例对此不作限定；

反光装置3设置在所述机台1上，能够将射向机台方向的激光沿相反方向反射回去，所述反光装置3具体包括X方向反光部4和Y方向反光部5；