[实用新型]一种湿硅片自动分片装置

权利要求书

1.一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，包括一装有水的水箱，所述水箱内设有一硅片篮以及一位于所述硅片篮一侧的升降机构，所述硅片篮用于倾斜放置若干硅片，所述升降机构与一设于所述水箱外的第一电机连接，所述第一电机与一控制模块连接，所述升降机构由所述第一电机驱动使得所述硅片篮中的硅片在竖直方向上下运动；

所述水箱上方设有一与所述硅片平行设置的吸盘，所述吸盘上设有若干气孔和水孔，所述吸盘通过一支架滑动设于一导轨上，所述支架由一气缸驱动在所述导轨上滑动，所述气缸与所述控制模块连接；

所述水箱内设有一与所述硅片篮顶部平齐的第一滚轮，所述第一滚轮位于所述吸盘运动方向的一侧，所述第一滚轮由一设于所述水箱外的第二电机驱动旋转，所述第二电机与所述控制模块连接，所述第一滚轮的转动方向与所述吸盘吸附到硅片后在所述导轨上的运动方向相反，所述吸盘吸附的最上面的硅片下方粘结的一个或多个硅片由所述第一滚轮的转动驱回所述硅片篮内；

所述水箱右侧设有一传送带，所述传送带由一第三电机驱动水平移动，所述第三电机与所述控制模块连接，所述传送带左端上方固设有一第二滚轮；

所述水箱通过一第一水管与一水泵连接，所述水泵通过一减压阀与一第二水管连接，所述第二水管上设有一开关阀，所述水泵与所述控制模块连接，所述第二水管位于所述传送带上方，且所述第二水管与所述吸盘的水孔连通。

2.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述升降机构上的硅片的倾斜角度为1~45°。

3.根据权利要求1或2所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述导轨倾斜设置，所述导轨的倾斜角度与所述硅片的倾斜角度相同。

4.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述水箱上部设有一浸没于水中的超声波发生器。

5.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述开关阀为电磁阀。

6.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述传动带下方设有一收集箱。

7.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于， 所述吸盘表面设有若干均匀分布的滚花。

8.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于，所述吸盘上开设有若干均匀分布的环形凹槽，所述气孔和水孔位于所述环形凹槽内。