[实用新型]一种膜厚测量装置有效
| 申请号： | 201220112063.2 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN202485638U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 赵冉;姜仔达;唐华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜厚测量装置，包括：机台，分别安装在机台的两个对焦灯固定轴端部的上对焦灯和下对焦灯；所述上对焦灯和下对焦灯相对设置，并分别位于待测膜所在产线的上下两侧；所述上对焦灯还连接有CCD；其特征在于，所述下对焦灯上方设置有可移动的反射拨片。
2.如权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述下对焦灯上或者其一侧的对焦灯固定轴上设置有支撑架，支撑架上安装所述反射拨片。
3.如权利要求1所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述反射拨片为金属片。
4.如权利要求3所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述反射拨片为铝片。
5.如权利要求2所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述支撑架为旋转升降支架，以带动所述反射拨片旋转或竖直移动。
6.如权利要求5所述的膜厚测量装置，其特征在于，所述支撑架连接移动控制模块，由移动控制模块控制支撑架的旋转升降。
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