[实用新型]真空蒸发镀膜用的电接触结构有效
| 申请号： | 201220129970.8 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202595249U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 赵铭 | 申请（专利权）人： | 广东友通工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 蒸发 镀膜 接触 结构 | ||
【权利要求书】：
1.真空蒸发镀膜用的电接触结构，包括可相互对接导通的第一接触板（1）和第二接触板（2），其特征在于：第一接触板（1）固定安装在大门组件（3）上；所述第二接触板（2）安装在一气缸（4）的伸缩端上，气缸（4）固定在真空室组件（5）上。
2.根据权利要求1所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构，其特征在于：所述气缸（4）的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱（6），绝缘柱（6）的外端固定第二接触板（2）及一导电压板（7），导电压板（7）与第二接触板（2）紧贴在一起。
3.根据权利要求2所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构，其特征在于：绝缘柱（6）通过一螺栓（8）过渡连接到气缸（4）的伸缩轴上。
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