[实用新型]真空蒸发镀膜用的电接触结构有效

专利信息
申请号: 201220129970.8 申请日: 2012-03-31
公开(公告)号: CN202595249U 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 赵铭 申请(专利权)人: 广东友通工业有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 东莞市创益专利事务所 44249 代理人: 李卫平
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空 蒸发 镀膜 接触 结构
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构技术领域。

背景技术

传统的真空蒸发镀膜用的电接触结构,主要是采用人工驱动接触板接触工作,操作不便,工作性能不稳定,影响镀膜工作。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种结构简单,自动控制,性能稳定的真空蒸发镀膜用的电接触结构。

为了达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板,所述第一接触板固定安装在大门组件上;所述第二接触板安装在一气缸的伸缩端上,气缸固定在真空室组件上。

所述气缸的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱,绝缘柱的外端固定第二接触板及一导电压板,导电压板与第二接触板紧贴在一起。

所述绝缘柱通过一螺栓过渡连接到气缸的伸缩轴上。

本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作,达到自动化控制,智能性高,工作稳定,能满足生产的需要,且确保生产的稳定性和质量。

本实用新型再一优点是结构简单,科学合理,投资成本低,大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性,体积小巧,安装、使用方便。

附图说明:

附图1为本实用新型的较佳实施例结构示意图。

具体实施方式:

以下结合附图对本实用新型进一步说明:

参阅图1所示,本实用新型所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板1和第二接触板2,第一接触板1固定安装在大门组件3上;所述第二接触板2安装在一气缸4的伸缩端上,气缸4固定在真空室组件5上。图1所示,本实施的气缸4伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱6,绝缘柱6的外端固定第二接触板2及一导电压板7,导电压板7与第二接触板2紧贴在一起,电性结构好,可通过1200A的强大电流,大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性。绝缘柱6通过一螺栓8过渡连接到气缸4的伸缩轴上。结构简单,科学合理,投资成本低,体积小巧,安装、使用方便。

工作时,气缸4驱动第二接触板2向前运动,与固定在大门组件3上的第一接触板1接触,从而使蒸发电源和蒸发电极导通,满足生产的需要,当气缸4带动第二接触板2向后运动,则可使第二接触板2与第一接触板1脱离,即可实现蒸发电源和蒸发电极断开,工作稳定可靠,达到自动化控制,提升了真空蒸发镀膜的稳定性和准确性,提高生产效率和质量。

当然,以上图示仅为本实用新型的较佳实施例,并非以此限定本实用新型的实施范围,故,凡是依照本实用新型之原理做等效变化或修饰,均应涵盖于本实用新型的保护范围内。

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