[实用新型]硅片传输系统

权利要求书

1.一种硅片传输系统，其特征在于，包括：

底板；

外框架，设置于所述底板；

内框架，设置于所述底板；

两个片库，并列设置于所述外框架，并以所述两个片库的接触面为轴线对称设置，每一所述片库能够兼容不同规格的硅片，且每一所述片库包括本体与承载台，所述承载台可升降地设置于所述本体；

预对准单元，设置于所述内框架；以及

机械手，设置于所述内框架，所述机械手能够将所述硅片在对应的所述片库与所述预对准单元之间进行传输。

2.根据权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述外框架与所述内框架之间无接触。

3.根据权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，每一所述片库还包括片盒解锁单元，设置于所述本体。

4.根据权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，还包括密封板与气浴口，所述密封板设置于所述本体，所述气浴口联通所述硅片传输系统和所述片盒，所述硅片传输系统和所述片盒通过所述密封板形成一密封空间，所述硅片传输系统内气压大于所述片盒内气压。

5.根据权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述预对准单元包括预对准模块与边缘曝光模块，所述边缘曝光模块设置于所述预对准模块的一侧。

6.根据权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述机械手具有两个片叉，能够取放不同规格的硅片。