[实用新型]平面测量补偿装置有效
| 申请号： | 201220145190.2 | 申请日： | 2012-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN202501833U | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张祚;陈启沛;梁坤 | 申请（专利权）人： | 广州翔天智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B7/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510610 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 测量 补偿 装置 | ||
【权利要求书】：
1.平面测量补偿装置，其特征在于：该装置包括音圈电机、运动平台、测量传感器、音圈电机伺服驱动器和控制器，所述音圈电机设置于运动平台上；所述测量传感器与音圈电机伺服驱动器连接，测量传感器固定连接于运动平台上；所述控制器与音圈电机伺服驱动器信号连接。
2.根据权利要求1所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述测量传感器为光电编码器或磁编码器。
3.根据权利要求1所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述音圈电机伺服驱动器为驱动电路。
4.根据权利要求1所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述音圈电机连接有测量头。
5.根据权利要求1所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述平面测量补偿装置还连接有机架和保护壳。
6.根据权利要求5所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述机架通过螺钉与音圈电机连接。
7.根据权利要求5所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述机架为C型机架。
8.根据权利要求5所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述保护壳为硬质性保护壳。
9.根据权利要求5所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述运动平台连接有导轨。
10.根据权利要求5所述的平面测量补偿装置，其特征在于：所述运动平台为L型运动平台。
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