[实用新型]平面测量补偿装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及平面测量补偿技术领域，特别涉及一种平面测量补偿装置。

背景技术

在平面上工作的设备很多都存在平面校正难的问题，设备在出厂前都需要进行一次平面校正。由于设备平面校正过程复杂繁琐，存在一定的困难，而且在设备运输过程中极易发生碰撞而导致设备平面变化，因此针对上述情况，厂家需要上门再次对设备进行校正。此外，校正好的设备平面受重力影响，也会随着使用时间而发生变化，这样不但影响设备性能，而且增加了设备厂的维护成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供一种利用音圈电机进行平面校正，高精度、高响应，维护成本低的平面测量补偿装置。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种平面测量补偿装置，该装置包括音圈电机、运动平台、测量传感器、音圈电机伺服驱动器和控制器，所述音圈电机设置于运动平台上；所述测量传感器与音圈电机伺服驱动器连接，测量传感器固定连接于运动平台上；所述控制器与音圈电机伺服驱动器信号连接。

所述音圈电机与音圈电机伺服驱动器电路连接，测量传感器与音圈电机伺服驱动器信号连接；所述音圈电机的动子通过螺钉与运动平台连接。

所述测量传感器为光电编码器或磁编码器，光电编码器或磁编码器通过螺钉与运动平台固定连接。

所述音圈电机伺服驱动器为驱动电路，驱动电路通过螺钉与测量传感器连接。

所述音圈电机连接有测量头，测量头通过螺钉与音圈电机连接。

所述平面测量补偿装置还连接有机架和保护壳，机架通过螺钉与保护壳连接。

所述机架通过螺钉与音圈电机连接。

作为技术优选方案，所述机架为C型机架，使得音圈电机和运动平台能有效地与C型机架形状整合在一起，缩小了装置体积，节省了空间；C型机架采用工业铝型材的剪切件，规格和长度可根据需求调整，有利于降低生产成本；所述C型机架通过螺钉与音圈电机的定子连接。

作为技术优选方案，所述保护壳为硬质性保护壳，具有抗压的作用。

所述运动平台连接有导轨，导轨通过直线轴承与运动平台固定连接，导轨的大端与机架过渡配合，导轨的小端与机架过盈配合，导轨的数量为两个，使得运动平台在运动的时候能平稳地上下移动，保征了音圈电机的运动稳定性。

所述运动平台为L型运动平台，L型运动平台的长臂通过导轨与机架连接，短臂通过螺钉与保护壳连接。

本实用新型的测量补偿控制原理：将音圈电机连接的测量头以恒力压在台面上，然后以一定密度扫过整个台面，过程中音圈电机伺服驱动器读取测量传感器的位置值并反馈至控制器，控制器通过算法将间隔位置的补偿值连续化，覆盖整个工作平面；音圈电机在工作中再次通过平面不平位置时，音圈电机伺服驱动器工作在位置伺服模式，加上测量阶段的补偿值就可以还原平面。

测量补偿控制步骤如下：1、对平面进行测量，控制器发出信号，令音圈电机伺服驱动器进入测试模式；2、音圈电机伺服驱动器控制电流，使音圈电机以较小的恒力将测量头压在测试平面上；3、音圈电机伺服驱动器控制音圈电机和测量头在测试平面上运动，并读取测量传感器记录音圈电机的运动位置值；4、音圈电机伺服驱动器将读取到的数值向控制器发送；5、控制器将运动位置值通过计算一一对应得到平面的不平整补偿值；6、进入工作状态，当音圈电机再次运动到不平位置时，控制器发出信号，音圈电机伺服驱动器进入位置伺服模式，使音圈电机根据测量阶段计算的补偿值还原平面。

本实用新型相对于现有技术具有如下的优点及效果：

本实用新型平面测量补偿装置利用了音圈伺服力矩可控的特性，将音圈电机用于平面校正，并对不平整的工作台面进行补偿，不仅大大减小了台面的不确定性，提高了机器的精度，还降低了设备厂的维护成本，方便了使用者。

附图说明

图1是本实用新型平面测量补偿装置的爆炸图；

图2是图1测量传感器的结构示意图；

图3是本实用新型平面测量补偿装置的剖视图；

图4是本实用新型平面测量补偿装置的工作示意图；

图5是本实用新型平面测量补偿装置的测量补偿控制原理图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例一