[实用新型]一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统

权利要求书

1.一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于：包括光源模块、待测衍射光栅、梳妆滤波器及光谱仪，其中待测衍射光栅能够将特定角度入射的光按照设计的衍射级产生衍射光。

2.根据权利要求1所述的一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于光源模块包含宽光源、双折射晶体、45°半波片、宽光源支架、双折射晶体支架及45°半波片支架，由宽光源发出的光射入双折射晶体后发生双折射，产生o光和e光，e光通过放置在其前的45°半波片后成为o光，即偏振方向垂直于待测闪耀光栅沟槽方向的多波长线偏振光。

3.根据权利要求1所述的一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于待测衍射光栅放置在三维调整架上，可以通过调整三维调整架的旋钮来选择闪耀光栅的待测区域范围。

4.根据权利要求1所述的一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于通过调整梳妆滤波器将宽光源的多波长衍射光滤出不同的波长，从而对应闪耀光栅不同的待测频率单位。

5.根据权利要求1所述的一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于用光谱仪接收梳妆滤波器滤出的波长，并对光谱仪接收到的波形进行数据分析，可以判断闪耀光栅沟槽微结构是否变异及变异程度。