[实用新型]一种PECVD的沉积装置及其沉积槽用锁紧装置

权利要求书

1.一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，用于将所述沉积槽(7)固定于托架(2)上，其特征在于，包括：

第一锁件(6)；

和用于贯穿所述沉积槽(7)的侧壁的第二锁件(4)，所述第二锁件(4)包括用于与所述托架(2)固定相连的固定端和用于外伸于所述沉积槽(7)的自由端，所述第二锁件(4)的自由端开设有用于夹住所述第一锁件(6)的紧固槽(41)。

2.根据权利要求1所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，所述紧固槽(41)与所述沉积槽(7)的侧壁平行。

3.根据权利要求1所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，所述第一锁件(6)开设有用于夹住所述第二锁件(4)的自由端的安装槽(61)。

4.根据权利要求3所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，所述第一锁件(6)和第二锁件(4)均为长方体形；所述第一锁件(6)和第二锁件(4)的顶角均为圆角。

5.根据权利要求4所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，所述安装槽(61)与所述第一锁件(6)的一边平行。

6.根据权利要求1所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，还包括用于将所述第二锁件(4)的固定端固定于所述托架(2)的螺纹连接件；所述第二锁件(4)的固定端设置有供所述螺纹连接件通过的螺纹孔(42)。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件(4)至少为两个，所述第一锁件(6)的数目与所述第二锁件(4)的数目相同。

8.一种PECVD的沉积装置，包括沉积槽(7)，托架(2)和用于将所述沉积槽(7)固定于所述托架(2)的锁紧装置，其特征在于，所述锁紧装置为如权利要求1-7中任意一项所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置；

所述沉积槽(7)设置有供所述第二锁件(4)的自由端插入的插孔；

所述托架(2)上设置有用于连接所述第二锁件(4)的固定端的安装部(21)。