[实用新型]一种PECVD的沉积装置及其沉积槽用锁紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏电池生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种PECVD的沉积装置及其沉积槽用锁紧装置。

背景技术

光伏电池生产过程中，需要在光伏电池的半成品电池即硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)的方法在硅电池片表面形成减反射膜。

链式上镀膜PECVD的反应腔室中，将硅电池片放置在沉积槽内，氢化硅和氨气在等离子状态下，在硅电池片的表面形成氮化硅膜。在硅电池片表面镀膜的过程中，氮化硅不可避免的会沉积到沉积槽表面，在沉积槽表面形成氮化硅粉末。当沉积槽上的氮化硅粉末沉积的较多时，较易脱离沉积槽并掉落到硅电池片表面，严重影响了镀膜的质量，最终降低了硅电池片将光能转换为电能的转换效率。所以氮化硅粉末沉积的较多时，需要将沉积槽拆卸下来，对沉积槽进行清洗或者更换新的沉积槽。

沉积槽固定在反应腔室内壁上，一般反应腔室内壁上设置有用于支撑沉积槽的托架，然后通过多个螺丝和多个螺母将沉积槽固定在托架上。需要清洗或者更换新的沉积槽时，要将沉积槽拆卸下来，然后再安装上。在拆卸或者安装沉积槽的过程中，需要将螺丝和螺母一一拆除，使得工作人员的工作量较大，导致沉积槽的拆卸和安装时间较长，工作效率较低。

另外，沉积槽需要多个螺丝和多个螺母实现固定，但是经常拆卸和安装螺丝、螺母，其螺纹较易受到磨损，容易造成螺母与螺丝不能再实现固定相连，使得不能将沉积槽拆卸下来或者无法将其固定，对沉积槽的拆卸和安装造成了不便。

综上所述，如何提供一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，以减小工作人员的工作量，进而减少拆卸和安装沉积槽所需的时间，提高工作效率，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，减小了工作人员的工作量，进而减少了拆卸和安装沉积槽所需的时间，提高了工作效率。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，用于将所述沉积槽固定于托架上，该锁紧装置包括：

第一锁件；

和用于贯穿所述沉积槽的侧壁的第二锁件，所述第二锁件包括用于与所述托架固定相连的固定端和用于外伸于所述沉积槽的自由端，所述第二锁件的自由端开设有用于夹住所述第一锁件的紧固槽。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置中，所述紧固槽与所述沉积槽的侧壁平行。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置中，所述第一锁件开设有用于夹住所述第二锁件的自由端的安装槽。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置中，所述第一锁件和第二锁件均为长方体形；所述第一锁件和第二锁件的顶角均为圆角。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置中，所述安装槽与所述第一锁件的一边平行。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置，还包括用于将所述第二锁件的固定端固定于所述托架的螺纹连接件；所述第二锁件的固定端设置有供所述螺纹连接件通过的螺纹孔。

优选的，上述PECVD的沉积槽用锁紧装置中，所述第二锁件至少为两个，所述第一锁件的数目与所述第二锁件的数目相同。

基于上述提供的PECVD的沉积槽用锁紧装置，本实用新型还提供了一种PECVD的沉积装置，包括沉积槽，托架和用于将所述沉积槽固定于所述托架的锁紧装置，所述锁紧装置为上述任意一项所述的PECVD的沉积槽用锁紧装置；

所述沉积槽设置有供所述第二锁件的自由端插入的插孔；

所述托架上设置有用于连接所述第二锁件的固定端的安装部。

本实用新型提供的PECVD的沉积槽用锁紧装置的使用方法如下：

安装沉积槽时，先将第二锁件固定设置于托架上，即第二锁件的固定端与托架固定相连；然后将第二锁件的自由端插入沉积槽的插孔中，即第二锁件的自由端外伸于沉积槽，使得第二锁件贯穿沉积槽的侧壁，避免了沉积槽沿水平方向移动；最后将第一锁件插入第二锁件的紧固槽中，紧固槽夹住第一锁件，避免了沉积槽沿竖直方向移动，即实现了沉积槽的固定；需要拆卸沉积槽时，只需使第一锁件脱离第二锁件的紧固槽，使得第一锁件与第二锁件分离，然后将沉积槽向远离第二锁件的方向移动，使得沉积槽与第二锁件分离，即可实现沉积槽的拆卸。