[实用新型]一种基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备；所述图像采集设备连接所述数据处理设备，用于将采集到的基板的图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备连接所述显示设备，用于提取所述图像中的异常点的坐标，并将所述坐标和所述图像发送给所述显示设备。

2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为一个，并且位于待检测基板的中心的上方。

3.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为多个，并且均匀分布在待检测基板的中心及针脚与基板接触点的上方。

4.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，还包括三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备分别连接所述数据处理设备和所述图像采集设备，所述数据处理设备将针脚坐标和所述异常点的坐标发送给所述三维驱动伺服设备，所述三维驱动伺服设备根据所述针脚坐标和异常点的坐标调整所述图像采集设备的位置。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集设备为红外摄像机，所述红外摄像机将采集到的基板的红外图像发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备提取所述红外图像中的色斑坐标，并将所述色斑坐标和所述红外图像发送给所述显示设备。

6.如权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，还包括数据转换器，所述数据转换器连接所述红外摄像机和所述数据处理设备，用于将所述红外图像中不同的色斑转换成不同的温度值，并将所述色斑的位置坐标和对应的温度值发送给所述数据处理设备，所述数据处理设备将所述色斑的位置坐标和对应的温度值绘制成温度曲线图后将所述温度曲线图发送给所述显示设备。

7.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述数据处理设备包括计算机主机或单片机。