[实用新型]一种基板检测装置有效
申请号: | 201220157301.1 | 申请日: | 2012-04-13 |
公开(公告)号: | CN202548061U | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 金婷婷;金相旭;王平;左长云;李兰 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 230011 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种用于检测异常点的基板检测装置。
背景技术
生产液晶面板的过程中,在基板上涂覆好聚酰亚胺(Polyimide,简称PI)后,需要对涂布的PI液进行预固化形成取向膜,预固化效果的好坏直接决定着成膜特性,进而影响液晶显示面板的画面显示质量。
目前取向膜预固化工艺采用热板式加热,热板式加热会造成基板表面受热不均,为了解决受热不均通常采用接近式针脚(Pin),但是Pin与周围空气温度存在温度差异,造成Pin端基板表面形成针脚云纹(Pin Mura)、干燥污渍或其它污渍等形成的影响最终产品画面品质的异常点。
目前在取向膜预固化工序尚没有实时检测Pin Mura的方法,通常的确认方法是对预固化后的基板进行抽检,在宏观微观检查机上进行目视检查,在这种目视检查方法下不能实时检测Pin Mura、干燥污渍或其它异常点是否发生,存在产品质量风险。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是:如何实时地检测出基板上出现的Pin Mura、干燥污渍及其它异常点。
(二)技术方案
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种基板检测装置,用于检测所述基板上的异常点,包括:数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备;所述图像采集设备连接所述数据处理设备,用于将采集到的基板的图像发送给所述数据处理设备,所述数据处理设备连接所述显示设备,用于提取所述图像中的异常点的坐标,并将所述坐标和所述图像发送给所述显示设备。
其中,所述图像采集设备为一个,所述图像采集设备位于待检测基板的中心的上方。
其中,所述图像采集设备为多个,所述多个图像采集设备均匀分布在待检测基板的中心及针脚与基板接触点的上方。
其中,还包括三维驱动伺服设备,所述三维驱动伺服设备分别连接所述数据处理设备和所述图像采集设备,所述数据处理设备将针脚坐标和所述异常点的坐标发送给所述三维驱动伺服设备,所述三维驱动伺服设备根据所述针脚坐标和异常点的坐标调整所述图像采集设备的位置。
其中,所述图像采集设备为红外摄像机,所述红外摄像机将采集到的基板的红外图像发送给所述数据处理设备,所述数据处理设备提取所述红外图像中的色斑坐标,并将所述色斑坐标和所述红外图像发送给所述显示设备。
其中,还包括数据转换器,所述数据转换器连接所述红外摄像机和所述数据处理设备,用于将所述红外图像中不同的色斑转换成不同的温度值,并将所述色斑的位置坐标和对应的温度值发送给所述数据处理设备,所述数据处理设备将所述色斑的位置坐标和对应的温度值绘制成温度曲线图后将所述温度曲线图发送给所述显示设备。
其中,所述数据处理设备包括计算机主机或单片机。
(三)有益效果
本实用新型的基板检测装置通过图像采集设备实时采集基板表面的图像,将采集到的图像在显示设备上呈现,并利用计算机或单片机内的基板图像的异常点坐标和异常点在基板上的坐标的一一对应关系能够精确地检测出基板表面的Pin Mura、干燥污渍及其它异常点。
附图说明
图1是实用新型实施例1的一种基板检测装置结构示意图;
图2是实用新型实施例2的一种基板检测装置结构示意图;
图3是实用新型实施例3的一种基板检测装置结构示意图;
图4是图3中的基板检测装置在检测基板表面的针脚云纹及干燥污渍时的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
实施例1
本实施例的基板检测装置如图1所示,包括:数据处理设备、显示设备及至少一个图像采集设备。图像采集设备能够采集待检测的基板表面的图像,从而获得异常点的图像。本实施例中数据处理设备为计算机主机,图像采集设备为红外摄像机,以采集pin Mura和干燥污渍的异常点为例进行具体说明。
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