[实用新型]硅片脱胶机及其防压篮保护机械手

权利要求书

1.一种硅片脱胶机防压篮保护机械手，包括机械手托盘(2)和设置于所述机械手托盘上的第一抓料勾(3)、第二抓料勾(4)、第三抓料勾(5)、第四抓料勾，其特征在于，至少一个抓料勾与所述机械手托盘之间设置有料勾导向装置，所述抓料勾可滑动的与所述料勾导向装置相连。

2.根据权利要求1所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，各个抓料勾与所述机械手托盘之间均设置有料勾导向装置。

3.根据权利要求1所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，还包括检测所述抓料勾与所述料勾导向装置的相对位移，并向控制器反馈报警或/和停机信号的电感式传感器，其设置于所述料勾导向装置与所述抓料勾之间。

4.根据权利要求1所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，还包括第一固定板(7)、第二固定板(8)和用于驱动所述第一固定板(7)与所述第二固定板(8)相互靠近或者远离的固定板驱动装置(9)；

所述第一固定板(7)长度方向的两端分别设置有用于安装所述第一抓料勾(3)和所述第二抓料勾(4)的第一料勾安装孔(71)和第二料勾安装孔(72)；

所述第二固定板(8)长度方向的两端分别设置有用于安装所述第三抓料勾(5)和第四抓料勾的第三料勾安装孔(81)和第四料勾安装孔(82)；

所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)均滑动地设置于所述机械手托盘(2)上。

5.根据权利要求4所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，所述固定板驱动装置(9)为伸缩气缸，其缸体(91)设置在所述第二固定板(8)上，其活塞杆(92)与所述第一固定板(7)相连。

6.根据权利要求4所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)通过固定板滑移装置(10)可滑动地设置在所述机械手托盘(2)上。

7.根据权利要求6所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，所述固定板滑移装置(10)为直线轴承。

8.根据权利要求6所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，所述固定板滑移装置(10)为两个，其分别设置于所述机械手托盘(2)长度方向的两端。

9.根据权利要求1所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手，其特征在于，所述第一抓料勾(3)、所述第二抓料勾(4)、所述第三抓料勾(5)、所述第四抓料勾、所述第一固定板(7)和所述第二固定板(8)的材料均为不锈钢材料。

10.一种硅片脱胶机，包括料篮和用于吊装所述料篮的机械手，其特征在于，所述机械手为如权利要求1-9中任意一项所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手。