[实用新型]硅片脱胶机及其防压篮保护机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域，更具体地说，涉及一种硅片脱胶机及其防压篮保护机械手。

背景技术

硅片是晶硅太阳能电池制造的基底材料，而硅片的清洗又是整个硅片制造工艺中极为重要的环节，如果基底清洁不干净，后续的其他工艺步骤很难通过控制得到高质量的晶硅太阳能电池硅片。

硅片由硅棒或硅块由线切割后获得，在线切割过程中需要将硅棒或硅块通过粘胶粘接在玻璃板上固定，因此硅片切割完后其上会附着粘胶，切割后的硅片和未完全切割的硅棒等都需要进行脱胶的预清洗工序。

目前硅片预清洗工序主要生产设备为全自动硅片脱胶机，硅片脱胶机包括机械手、料篮、清洗槽和托勾等部件。料篮放置在位于清洗槽中的托勾上，由料篮完成对硅片或硅棒的清洗。切割后的硅片或硅棒由操作人员放置到料篮中，然后由机械手吊起装有硅片或硅棒的料蓝，并放入到清洗槽中进行清洗工作。

硅片脱胶机上的清洗设备所用机械手设计非常简单，由于其上未设置任何报警保护装置，设备运行一段时间后，由于料篮松动、定位传感器松动等因素会引起机械手不能准确的把晶片或晶棒放入水槽，这就是“压篮”现象。当清洗设备产生“压篮”现象时，由于此时若无人看守，设备不能停机，机械手、料篮和晶片或晶棒会挤压在一起，直接造成硅片崩边或晶棒受损坏，机械手和料篮扭曲等问题。现有技术中无压篮保护功能的机械手，机械手易受损坏，料篮易受压迫变形，设备故障率高，预清洗脱胶的硅片合格率低。现有的处理方法是由操作员紧盯设备，若发现压篮现象，立即停机，此方法会给操作员带来不便。

因此，如何避免“压篮”现象对硅片或硅棒的损坏，同时保证料篮和机械手的工作稳定性，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种硅片脱胶机防压篮保护机械手，以实现避免“压篮”现象对硅片或硅棒的损坏。本实用新型还提供了一种硅片脱胶机，以保证料篮和机械手的工作稳定性。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片脱胶机防压篮保护机械手，包括机械手托盘和设置于所述机械手托盘上的第一抓料勾、第二抓料勾、第三抓料勾、第四抓料勾，至少一个抓料勾与所述机械手托盘之间设置有料勾导向装置，所述抓料勾可滑动的与所述料勾导向装置相连。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，各个抓料勾与所述机械手托盘之间均设置有料勾导向装置。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，还包括检测所述抓料勾与所述料勾导向装置的相对位移，并向控制器反馈报警或/和停机信号的电感式传感器，其设置于所述料勾导向装置与所述抓料勾之间。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，还包括第一固定板、第二固定板和用于驱动所述第一固定板与所述第二固定板相互靠近或者远离的固定板驱动装置；

所述第一固定板长度方向的两端分别设置有用于安装所述第一抓料勾和所述第二抓料勾的第一料勾安装孔和第二料勾安装孔；

所述第二固定板长度方向的两端分别设置有用于安装所述第三抓料勾和第四抓料勾的第三料勾安装孔和第四料勾安装孔；

所述第一固定板和所述第二固定板均滑动地设置于所述机械手托盘上。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，所述固定板驱动装置为伸缩气缸，其缸体设置在所述第二固定板上，其活塞杆与所述第一固定板相连。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，所述第一固定板和所述第二固定板通过固定板滑移装置可滑动地设置在所述机械手托盘上。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，所述固定板滑移装置为直线轴承。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，所述固定板滑移装置为两个，其分别设置于所述机械手托盘长度方向的两端。

优选地，在上述硅片脱胶机防压篮保护机械手中，所述第一抓料勾、所述第二抓料勾、所述第三抓料勾、所述第四抓料勾、所述第一固定板和所述第二固定板的材料均为不锈钢材料。

一种硅片脱胶机，包括料篮和用于吊装所述料篮的机械手，所述机械手为如上所述的硅片脱胶机防压篮保护机械手。