[实用新型]多晶硅还原炉有效
申请号: | 201220166252.8 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN202519037U | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 常青 | 申请(专利权)人: | 常青 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 沈阳杰克知识产权代理有限公司 21207 | 代理人: | 李宇彤 |
地址: | 112399 辽宁省铁岭*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
【权利要求书】:
1.多晶硅还原炉,它包括底盘(1)、底盘冷却水出口(2)、底盘冷却水进口(3)、物料进口(4)、夹套出水口(5)、夹套进水口(6),视镜口(7)、钟罩(8)和硅棒(9),其特征在于:硅棒(9)共有36对,硅棒(9)按正六边形安装布置,最外层每边四个硅棒(9),共24个硅棒(9),总共十一层硅棒(9)均布。
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