[实用新型]多晶硅还原炉

说明书

技术领域

 本实用型新型涉及多晶硅技术领域，确切地说它是一种多晶硅还原炉。

背景技术

多晶硅是当今世界电子工业、光电工业以及能源转换技术（太阳能光伏电池）等领域不可缺少的重要基础材料；是生产单晶硅的直接材料；而单晶硅是制作太阳能光伏电池的直接材料。由于太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的广泛性和充足性，绿色环保，所以被认为是最具有希望取代传统化石能源（煤、石油）的新能源。以多晶硅为原料生产的单晶硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料，现代科学研究、航天、军事工业、农业等等都离不开单晶硅，多晶硅还原炉就是生产多晶硅的核心设备，是直接产出多晶硅的设备。

我国多晶硅的生产开始于60年代，但规模很小，每年产量只有几吨，品质又低，特别是电子级的多晶硅完全依赖进口。2003年，我们和多家科研、生产单位共同研制了我国第一条300吨/年多晶硅生产线，制作出了当时我国第一台12对棒还原炉，一举打破了国外多年的技术封锁。之后，为了扩大产能的需要，我们又研制了国内第一台18对棒还原炉，第一台24对棒还原炉，有力的推动了我国多晶硅产业的大发展。

但是，规模、产能上去了，由多晶硅的进口国变成了多晶硅的出口国，新的问题又出现了，多晶硅的生产耗能巨大，电耗达到了180kwh/kg·Si，那里建多晶硅厂，那里的电力就紧张，使我国部分地区本来就紧张的电力供应更加雪上加霜，以致部分省区不得不下令停止建厂，以保护能源的平衡供应。国家发改委也于2008年末发文规定，要求新建的多晶硅企业能耗必须降到70kwh/kg·Si以下，否则，不予批复。面对节能降耗、环保低碳的新课题，我们开始了节能、环保、高效、新型多晶硅还原炉的研制工作，我们联合高校、科研单位多晶硅生产企业，理论与实际相结合，经过一年多的努力，研制成功了节能型36对棒还原炉，36对棒还原炉设计电耗≤50kwh/kg·Si,电耗指标达到了国际先进水平。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅还原炉，它具有较好的节能效果。技术方案如下，多晶硅还原炉，它包括底盘、底盘冷却水出口、底盘冷却水进口、物料进口、夹套出水口、夹套进水口，视镜口、钟罩和硅棒，其特征在于：硅棒共有36对，硅棒按正六边形安装布置，最外层每边四个硅棒，共24个硅棒，总共十一层硅棒均布。

本发明的优点是电耗≤50kwh/kg·Si,电耗指标达到了国际先进水平。有利用多晶硅的生产和生产布局。

各种规格还原炉电耗一览表（不含系统电耗）