[实用新型]超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统

权利要求书

1. 超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括载1、载2、载3、载4气路，切换阀VⅠ（1）以及切换阀VⅡ（2）、切换阀VⅢ（3）和切换阀VⅣ（4），其特征在于：切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅡ（2）之间设有第一分子筛色谱柱（51）；切换阀VⅡ（2）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二分子筛色谱柱（52）；切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅢ（3）之间设有针阀（9），切换阀VⅢ（3）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二柱子分离器（62）。

2. 根据权利要求1所述的超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，其特征在于：载1气路与切换阀VⅠ（1）的④号接口连接、载2气路与切换阀VⅠ（1）的⑦号接口连接；样品进口与切换阀VⅠ（1）的①号接口连接，样品出口与切换阀VⅠ（1）的②号接口连接，切换阀VⅠ（1）的⑩号接口与③号接口通过管路连接，该管路上还设有定量管（12）；载1气路与切换阀VⅠ（1）的④号接口连接，切换阀VⅠ（1）的⑤号接口与⑨号接口连接的管路上设有第一柱子分离器（61）；针阀（9）的上端与切换阀VⅠ（1）的⑧号接口连接，下端与切换阀VⅢ（4）的①号接口连接；载2气路与切换阀VⅠ（1）的⑦号接口连接；第一分子筛色谱柱（51）的一端与切换阀VⅠ（1）的⑥号接口连接，另一端与切换阀VⅡ（2）的①号接口连接。

3. 根据权利要求1所述的超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，其特征在于：载3气路与切换阀VⅡ（2）的③号接口连接；第二分子筛色谱柱（52）的一端与切换阀VⅡ（2）的②号接口连接，另一端与切换阀VⅣ（4）的③号接口连接；切换阀VⅡ（2）的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅡ（2）的六号接口与调节阀A（71）连接。

4. 根据权利要求1所述的超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，其特征在于：载4气路与切换阀VⅢ（3）的③号接口连接；切换阀VⅢ（3）的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅢ（3）的⑥号接口与调节阀B（72）连接；第二柱子分离器（62）的一端与切换阀VⅢ（3）的②号接口连接，另一端与切换阀VⅣ（4）的①号接口连接。

5. 根据权利要求1所述的超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，其特征在于：切换阀VⅣ（4）的②号接口与氦离子检测器（8）连接，切换阀VⅣ（4）的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅣ（4）的⑥号接口与调节阀C（73）连接。

6. 根据权利要求1所述的超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，其特征在于：所述的切换阀VⅠ（1）为十通吹扫气动切换阀，切换阀VⅡ、VⅢ、VⅣ（2、3、4）为六通吹扫气动切换阀，载1、载2、载3、载4气路上分别设有阻尼管（11、21、31、41）。