[实用新型]可扩展的反应腔室

权利要求书

1.一种可扩展的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。

2.如权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰。

3.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室具有一个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述前门板和后门板分别与模块化腔室的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。

4.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在于，所述第一法兰和第二法兰之间通过螺栓和螺母实现可拆式连接。

5.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在于，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述第一法兰和第二法兰之间通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。

6.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室具有至少两个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述至少两个模块化腔室采用首尾相接的方式通过第一法兰进行可拆式连接，所述至少两个模块化腔室上未连接的两端分别与前门板和后门板的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。

7.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在于，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过螺栓和螺母实现可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过螺栓和螺母实现可拆式连接。

8.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在于，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。

9.如权利要求1～8中任一项所述的反应腔室，其特征在于，所述空腔包括反应区域和抽气孔，所述抽气孔与所述反应区域连通。

10.如权利要求1～8中任一项所述的反应腔室，其特征在于，所述腔体上设有加热通道。