[实用新型]可扩展的反应腔室

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械设计技术领域，特别涉及一种可扩展的反应腔室。

背景技术

现有技术中的批处理原子层沉积(Atomic layer deposition，ALD)反应腔室包括内外两层腔室。外腔室为常压腔，其内壁设有加热元件，用于对整个外腔进行加热，从而加热内腔室及置于其内的基板。内腔室位于外腔室的腔内，与外腔室固定连接。内腔室为低压腔，其包含工艺气体管道和真空元件，分别用于在内腔室内对基板进行ALD反应及保证内腔室的低压环境。这种腔室结构一旦内外腔室的尺寸确定，单次所能加工的基板数量也随之确定。若要在此基础上继续提高生产率，就要重新设计反应腔室的尺寸，另做一套腔室。这样不仅增长了设计时间和新设备的开发周期，同时也限制了设备生产率的提高。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：如何使反应腔室能够扩展，实现在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可扩展的反应腔室，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。

优选地，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰。

优选地，所述反应腔室具有一个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述前门板和后门板分别与模块化腔室的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。

优选地，所述第一法兰和第二法兰之间通过螺栓和螺母实现可拆式连接。

优选地，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述第一法兰和第二法兰之间通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。

优选地，所述反应腔室具有至少两个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述至少两个模块化腔室采用首尾相接的方式通过第一法兰进行可拆式连接，所述至少两个模块化腔室上未连接的两端分别与前门板和后门板的开口通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。

优选地，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过螺栓和螺母实现可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过螺栓和螺母实现可拆式连接。

优选地，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述至少两个模块化腔室之间的第一法兰通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接，所述第一法兰和第二法兰之间也通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。

优选地，所述空腔包括反应区域和抽气孔，所述抽气孔与所述反应区域连通。

优选地，所述腔体上设有加热通道。

(三)有益效果

本实用新型通过在前门板、后门板和所述前门板和后门板之间设有的至少一个模块化腔室上设置法兰结构，使反应腔室能够扩展，实现了在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。

附图说明

图1是按照本实用新型一种实施例的可扩展的反应腔室的侧视图；

图2是图1所示的反应腔室中模块化腔室的正视图；

图3是图1所示的反应腔室中模块化腔室的侧视图；

图4是采用螺栓和螺母连接时的结构示意图；

图5是采用爪形夹钳连接时的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例1

下面以一个具有两个模块化腔室的反应腔室为例来说明本实用新型，参照图1，本实施例的反应腔室包括：前门板5和后门板8，所述前门板5和后门板8之间设有两个模块化腔室(分别为附图1中的“6”和“7”)，本实施例中，所述反应腔室的材料选择铝，用于光伏领域为太阳能基板淀积三氧化二铝钝化薄膜。

参照图2～3，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰4。

由于ALD反应需要在真空环境下实现，优选地，所述空腔包括反应区域2和抽气孔3，所述抽气孔3与所述反应区域2连通，本实施例中，所述抽气孔3与所述反应区域2之间通过设置狭缝实现连通，所述反应区域2可放置能够承载240片太阳能基板的基板承载装置，本实施例中的反应腔室由于具有两个模块化腔室，如此形成的反应区域，可放置能够承载480片太阳能基板的基板承载装置。

由于ALD反应需要进行加热，优选地，所述腔体上设有加热通道1，所述加热通道用于放置加热棒，本实施例中，所述加热通道1可以是通孔。