[实用新型]防静电光罩运输装置

权利要求书

1.一种防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，其特征在于，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。

2.如权利要求1所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述去离子风机包括风扇、电离器以及高压发生器，所述高压发生器为所述电离器提供高压电源，所述风扇旋转产生的气流穿经所述电离器。

3.如权利要求1所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述光罩放置盒能够相对于所述车体滑动，所述挡板下端与所述车体铰接，上端与所述车体可拆卸式连接。

4.如权利要求3所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述车体内部含有导轨，所述光罩放置盒与所述导轨相对应的位置设有突起的滑块，所述滑块能够沿所述导轨滑动。

5.如权利要求1所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置含有交流供电系统，所述交流供电系统包括整流电路、斩波电路以及逆变电路，所述电源接口连接所述整流电路的输入端，所述整流电路的输出端连接所述斩波电路的输入端，所述斩波电路的输出端连接所述逆变电路的输入端，所述逆变电路的输出端连接所述去离子风机。

6.如权利要求5所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述交流供电系统还包括旁路，所述旁路连接于所述电源接口和所述去离子风机的输入端之间。

7.如权利要求5所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置还含有内部供电系统，所述内部供电系统包括充电电路以及蓄电池，所述充电电路的输出端连接所述蓄电池，为所述蓄电池充电，所述蓄电池的输出端连接至所述斩波电路的输入端。

8.如权利要求7所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述交流供电系统和内部供电系统由交流切换开关自动切换。

9.如权利要求1所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述车体采用表面经过防静电喷塑处理的不锈钢材料。

10.如权利要求1~9任意一项所述的防静电光罩运输装置，其特征在于，所述防静电光罩运输装置的所有材料均采用防静电材料，所述车体底部设有防震部件，所述车轮采用防静电静音轮。