[实用新型]防静电光罩运输装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体运输设备，尤其涉及一种用于洁净室的移动式防静电光罩运输装置。

背景技术

随着半导体制造技术的发展，对半导体的制造环境有了更高的要求，尤其在FAB（芯片制造代工厂）中，静电的存在对设备及制品的影响较为严重，对有些部件，如光罩等会造成致命的损坏。

目前，考虑到FAB的实际情况以及成本的问题，在FAB中只对有需求且昂贵的设备安装去离子装置，在没有安装去离子装置的区域，仍然会对经过的光罩产生损伤。

因此，如何提供一种能够在光罩的运输途中对光罩进行防静电保护的防静电光罩运输装置是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防静电光罩运输装置，以解决光罩在运输过程中经过没有去静电环境而被静电损坏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。

较佳地，所述去离子风机包括风扇、电离器以及高压发生器，所述高压发生器为所述电离器提供高压电源，所述风扇旋转产生的气流穿经所述电离器。

较佳地，所述光罩放置盒能够相对于所述车体滑动，所述挡板下端与所述车体铰接，上端与所述车体可拆卸式连接。

较佳地，所述车体内部含有导轨，所述光罩放置盒与所述导轨相对应的位置设有突起的滑块，所述滑块能够沿所述导轨滑动。

较佳地，所述防静电光罩运输装置含有交流供电系统，所述交流供电系统包括整流电路、斩波电路以及逆变电路，所述电源接口连接所述整流电路的输入端，所述整流电路的输出端连接所述斩波电路的输入端，所述斩波电路的输出端连接所述逆变电路的输入端，所述逆变电路的输出端连接所述去离子风机。

较佳地，所述交流供电系统还包括旁路，所述旁路连接于所述电源接口和所述去离子风机的输入端之间。

较佳地，所述防静电光罩运输装置还含有内部供电系统，所述内部供电系统包括充电电路以及蓄电池，所述充电电路的输出端连接所述蓄电池，为所述蓄电池充电，所述蓄电池的输出端连接至所述斩波电路的输入端。

较佳地，所述交流供电系统和内部供电系统由交流切换开关自动切换。

较佳地，所述车体采用表面经过防静电喷塑处理的不锈钢材料。

较佳地，所述防静电光罩运输装置的所有材料均采用防静电材料，所述车体底部设有防震部件，所述车轮采用防静电静音轮。

本实用新型提供的防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。本实用新型采用吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，实现装置内部全方位去离子效果，以确保在运输光罩经过没有进行静电防护的区域时光罩不被静电损坏。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的防静电光罩运输装置结构示意图;

图2为本实用新型一实施例的去离子风机结构图;

图3为本实用新型一实施例的电路系统示意图;

图4为本实用新型一实施例的整流电路电路图;

图5为本实用新型一实施例的逆变电路电路图;

图6为本实用新型一实施例的充电电路电路图;

图中：1-车体、2-光罩放置盒、3-挡板、4-电源接口、5-指示灯、6-去离子风机、60-风扇、61-电离器、62-高压发生器、63-离子风。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。