[实用新型]一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构有效
申请号: | 201220205577.2 | 申请日: | 2012-05-09 |
公开(公告)号: | CN202585372U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 李克;刘良玉;吕文利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 扩散 设备 机构 | ||
1.一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,包括用于水平传送石英舟(4)的推舟底板部件和用于竖向传送石英舟(4)的推舟机构。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟底板部件的结构为,包括底板(1),装在底板(1)上的水平运动电机(5),由该水平运动电机(5)驱动的传送带(2),所述传送带(2)上设有夹桨座(14),该夹桨座(14)上装有承载石英舟(4)的桨。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟机构的结构为,包括推舟座(10),设在推舟座(10)内的偏心轮(12),该偏心轮(12)与一垂直运动电机(8)相联。
4.根据权利要求2所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述水平运动电机(5)通过水平涡轮减速机(6)驱动的传送带(2)。
5.根据权利要求2所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述夹桨座(14)装在L型板(7)上,装在导轨(3)上的该L型板(7)与传送带(2)相连。
6.根据权利要求3所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述垂直运动电机(8)通过垂直涡轮减速机(8)与偏心轮(12)相联。
7.根据权利要求3所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟座(10)上铰接有上铝板(11),该上铝板(11)的另一端与一侧铝板(13)的一端铰接,所述侧铝板(13)的另一端通过一连杆铰接在推舟座(10)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造