[实用新型]一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构有效

专利信息
申请号: 201220205577.2 申请日: 2012-05-09
公开(公告)号: CN202585372U 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 李克;刘良玉;吕文利 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 太阳能电池 扩散 设备 机构
【权利要求书】:

1.一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,包括用于水平传送石英舟(4)的推舟底板部件和用于竖向传送石英舟(4)的推舟机构。

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟底板部件的结构为,包括底板(1),装在底板(1)上的水平运动电机(5),由该水平运动电机(5)驱动的传送带(2),所述传送带(2)上设有夹桨座(14),该夹桨座(14)上装有承载石英舟(4)的桨。

3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟机构的结构为,包括推舟座(10),设在推舟座(10)内的偏心轮(12),该偏心轮(12)与一垂直运动电机(8)相联。

4.根据权利要求2所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述水平运动电机(5)通过水平涡轮减速机(6)驱动的传送带(2)。

5.根据权利要求2所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述夹桨座(14)装在L型板(7)上,装在导轨(3)上的该L型板(7)与传送带(2)相连。

6.根据权利要求3所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述垂直运动电机(8)通过垂直涡轮减速机(8)与偏心轮(12)相联。

7.根据权利要求3所述的用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其特征是,所述推舟座(10)上铰接有上铝板(11),该上铝板(11)的另一端与一侧铝板(13)的一端铰接,所述侧铝板(13)的另一端通过一连杆铰接在推舟座(10)上。

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