[实用新型]一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构有效
申请号: | 201220205577.2 | 申请日: | 2012-05-09 |
公开(公告)号: | CN202585372U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 李克;刘良玉;吕文利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 扩散 设备 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造自动化设备领域,尤其涉及一种用于太阳能电池扩散设备的推舟送片机构。
背景技术
太阳能电池作为可再生的环保能源已经越来越受到人们的关注,与其相关的生产工艺及生产设备也得到了迅猛的发展。一直以来,扩散工序是整个太阳能电池片生产工序中最关键的工序之一。扩散的洁净度直接关系着电池效率的高低。
现有的扩散设备送片机构在送完片后,送片机构的一部分在工艺过程中一直处于反应管内,不可避免地带入了不少杂质,影响了工艺效果,另外现有机构在扩大产能时遇到了送片机构下垂等问题。
发明内容
为了克服现有送片机构送片后仍然留在石英管内,易造成污染的不足以及减少松片机构下垂带来的问题,本实用新型旨在提供一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构,该机构可以实现石英舟的水平及垂直方向运动。
为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构,其结构特点是,包括用于水平传送石英舟的推舟底板部件和用于竖向传送石英舟的推舟机构。
由此,本实用新型实现了石英舟的水平及垂直方向运动。
根据本实用新型的实施例,所述推舟底板部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平运动电机,由该水平运动电机驱动的传送带,所述传送带上设有夹桨座,该夹桨座上装有承载石英舟的桨。
作为一种优选方案,所述水平运动电机通过水平涡轮减速机驱动的传送带。
进一步地,所述夹桨座装在L型板上,装在导轨上的该L型板与传送带相连。
推舟底板部件通过底板,传送带及导轨,及水平传动方向的电机组成,实现水平运动。
根据本实用新型的实施例,所述推舟机构的结构为,包括推舟座,设在推舟座内的偏心轮,该偏心轮与一垂直运动电机相联。
进一步地,所述推舟座上铰接有上铝板,该上铝板的另一端与一侧铝板的一端铰接,所述侧铝板的另一端通过一连杆铰接在推舟座上。
作为一种优选方案,所述垂直运动电机通过垂直涡轮减速机与偏心轮相联。
籍由上述结构,本实用新型所述的推舟底板部件由底板,传送带及导轨,及电机组成。设备送片程序启动后,电机启动后,通过涡轮减速机带动皮带传动,从而带动L型板沿导轨前进,将硅片送到炉管内部,实现送片机构水平运动。垂直运动电机启动后,带动偏心轮转动,偏心轮作用在连杆机构上顶部的铝板上,带动联杆机构运动,联杆机构侧面的铝板与夹桨机构固定,从而实现了夹桨机构的上下运动。所述推舟机构由一个四联杆机构,电机,偏心轮,及夹桨机构组成。当电机启动后,带动偏心轮转动,偏心轮作用在连杆机构上顶部的铝板上,带动连杆机构运动,联杆机构侧面的铝板与夹桨机构固定联接,实现了夹桨机构的上下运动,从而使送片机构可以将硅片放于反应管后退出,同时可以通过调节固定端的位置来调节空载时夹桨机构的仰角,补充载片后桨前端下垂带来影响,使送片机构在载片时水平进入石英管。推舟机构承载在推舟底板部件上,实现了两个方向的运动。从而使载片部分(石英舟)实现了水平及垂直方向运动。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型简化了送片机构,大大降低了人工成本与设备成本,能够在设备装片后实现悬臂桨对下垂量角度的补充,提高了设备的稳定性,有利于提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图;
图2是图1的左视图;
图3是本实用新型所述推舟座的结构示意图;
图4是图3的局部剖视图。
在图中:
1-底板; 2-传动带; 3-导轨; 4- 石英舟;
5-水平运动电机; 6-水平涡轮减速机; 7-L型板;
8-垂直运动电机; 9-垂直涡轮减速机; 10-推舟座;
11-上铝板; 12-偏心轮; 13-侧铝板; 14-夹桨座。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型的实施例。需要说明的是附图序号只表示本实施例的主要零部件,其它没有一一例出。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造