[实用新型]裸片供给装置

权利要求书

1.一种裸片供给装置，其特征在于，具备：

供给负压的负压管线；

供给大气压的大气压管线；

能够对所述负压管线和所述大气压管线进行切换的阀；

吸附台，具有：吸附孔，所述吸附孔与所述阀连通，通过从所述负压管线供给的负压，对贴附有多个裸片的切割膜中的在表面贴附有作为取出对象的所述裸片的区域的背面进行吸附；和销，所述销能够向表面方向和背面方向进退，且在所述区域被吸附的状态下使所述区域的一部分向表面侧突出，一边将所述裸片从所述切割膜剥离，一边使所述裸片突出，直至达到由吸嘴取出所述裸片的位置；及

共用的驱动部，使所述阀的切换动作与所述销的进退动作以规定的时序进行联动。

2.根据权利要求1所述的裸片供给装置，其特征在于，

具备进行所述阀的切换动作的阀用凸轮和进行所述销的进退动作的销用凸轮，

所述驱动部具有旋转轴，环绕所述旋转轴地安装有所述阀用凸轮和所述销用凸轮。

3.根据权利要求1或2所述的裸片供给装置，其特征在于，

所述驱动部相继进行如下的动作：

负压切换动作，为了向所述吸附孔供给负压，将所述阀切换到所述负压管线；和

前进动作，为了在通过所述负压切换动作而使所述负压达到规定值之后使所述裸片向表面侧突出至由所述吸嘴取出的位置，使所述销向表面侧前进。

4.根据权利要求3所述的裸片供给装置，其特征在于，

所述驱动部同步进行如下的动作：

大气压切换动作，为了在由所述吸嘴取出所述裸片之后向所述吸附孔供给大气压，将所述阀切换到所述大气压管线；和

退出动作，使所述销向背面侧退出。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的裸片供给装置，其特征在于，

所述裸片是晶片的切片。