[实用新型]一种OTB镀膜设备的高均匀性硅烷喷淋装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产太阳能电池的设备，具体是一种OTB镀膜设备的高均匀性硅烷喷淋装置。

背景技术

人们常常通过太阳能电池进行光电变换来获得电力，硅太阳能电池是一种有效地吸收太阳能辐射并使之转化为电能的半导体电子器件，其广泛应用于各种照明及发电系统中。镀膜是生产硅太阳能电池的重要工序，膜层的均匀性对电池片的光电转换效率有着很大的影响，现今镀膜时膜层的均匀性不便于控制，镀出的膜层均匀性差，如何改善镀膜的膜层均匀性，进而提高电池片转换效率，这成为整个太阳能电池产业普遍关注的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了能改善镀膜时等离子体沉积分布，进而提高镀膜膜层均匀性的一种OTB镀膜设备的高均匀性硅烷喷淋装置。

本实用新型的目的主要通过以下技术方案实现：

一种OTB镀膜设备的高均匀性硅烷喷淋装置，包括构成圆环状的喷淋管，所述喷淋管设有多个接通喷淋管内部的喷淋孔，多个喷淋孔均匀分布在喷淋管构成的圆环内侧壁上，所述喷淋管构成的圆环外侧壁上设置有一个接通喷淋管内部的硅烷气体输入端口。本实用新型的喷淋管不限于构成圆环状，其也可构成正三角形、方形、菱形等其它封闭多边形。

所述喷淋管的内环直径为30～500mm。

所述喷淋孔为直径为5～30mm的圆孔。本实用新型的喷淋孔也不限于采用圆孔，其也可采用其它正多边形孔进行替换，为了便于制造，本实用新型优选将喷淋孔设置为圆孔。

所述喷淋孔的数量为2～15个。

所述喷淋管的硅烷气体输入端口连接有硅烷气体输送管。本实用新型在喷淋管连接硅烷气体输送管，如此，便于向喷淋管中输入硅烷气体。

所述硅烷气体输送管相对连接硅烷气体输入端口端的另一端连接有固定圆盘，所述固定圆盘设置有贯穿固定圆盘相对两侧壁的流体通孔和多个紧固孔，流体通孔位于固定圆盘的中央部位，硅烷气体输送管与流体通孔接通，所述多个紧固孔环绕流体通孔设置。本实用新型通过设置固定圆盘，固定圆盘上设置有紧固孔，本实用新型可通过将螺栓穿过紧固孔，进而完成对本实用新型的定位。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型包括构成圆环状的喷淋管，喷淋管设有多个接通喷淋管内部的喷淋孔，多个喷淋孔均匀分布在喷淋管构成的圆环内侧壁上，本实用新型采用上述结构，整体结构简单，便于实现，制造成本低，且本实用新型在应用时通过喷淋管构成的圆环内侧壁上设置的多个均匀分布的喷淋孔能使喷射在太阳能电池硅片上的硅烷气体分布均匀，硅烷气体经过电离形成均匀分布在太阳能电池硅片上的等离子体，这就提高了镀膜的致密性，进而提高了电池片光电转换效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

附图中附图标记所对应的名称为：1、喷淋管，2、喷淋孔，3、硅烷气体输送管，4、固定圆盘。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例：

如图1所示，一种OTB镀膜设备的高均匀性硅烷喷淋装置，包括构成圆环状的喷淋管1，其中，喷淋管1的内环直径为30～500mm，喷淋管1设有多个接通喷淋管1内部的喷淋孔2，喷淋孔2为直径为5～30mm的圆孔，其数量为2～15个，多个喷淋孔2均匀分布在喷淋管1构成的圆环内侧壁的圆周上。多个喷淋孔2均匀分布在喷淋管1构成的圆环内侧壁的圆周上具体为：当喷淋孔2的数量为两个时，两个喷淋孔2均设置在喷淋管1构成的圆环的一条直径上，且两个喷淋孔2分别位于喷淋管1构成的圆环相对两端；当喷淋孔2的数量为三个以上时，任意一个喷淋孔2距其相邻的两个喷淋孔2之间的距离相等。

喷淋管1构成的圆环外侧壁上设置有一个接通喷淋管1内部的硅烷气体输入端口，喷淋管1的硅烷气体输入端口连接有硅烷气体输送管3。硅烷气体输送管3相对连接硅烷气体输入端口端的另一端连接有固定圆盘4，固定圆盘4设置有贯穿固定圆盘4相对两侧壁的流体通孔和多个紧固孔，流体通孔位于固定圆盘4的中央部位，硅烷气体输送管4与流体通孔接通，多个紧固孔环绕流体通孔设置，为了便于采用螺栓对固定圆盘4进行固定，紧固孔优选采用螺纹孔。

如上所述，则能很好的实现本实用新型。