[实用新型]一种带有破空功能的分子泵有效
| 申请号： | 201220257850.6 | 申请日： | 2012-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN202732472U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 张志;胡眉 | 申请（专利权）人： | 安徽皖仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/40 | 分类号： | F04D29/40;F04D29/00;F04D29/70 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 功能 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，其特征在于：所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置。
2.根据权利要求1所述的一种带有破空功能的分子泵，其特征在于：所述的分子泵破空阀为通径小于0.75mm的两位两通常开阀。
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