[实用新型]一种带有破空功能的分子泵

说明书

技术领域

    本实用新型涉及氦质谱检漏仪，尤其涉及一种带有破空功能的分子泵。

背景技术

氦质谱检漏仪在停机后，分子泵在维持高真空下从每分钟七万至九万转降到停止状态，需要很长时间。这会带来一些问题，比如停机后便移动设备，会对分子泵产生损坏；在真空状态下降速时会在共振区维持较长时间，同样会对分子泵产生损坏。这些问题都降低了分子泵的使用寿命。在目前市场上氦质谱检漏仪所用的分子泵都不具备破空功能，增加破空功能后可以使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种适用在氦质谱检漏仪中的带有破空功能的分子泵。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

    一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置，可以有效过滤粉尘与水汽。

    所述的分子泵破空阀为通径小于0.75mm的两位两通常开阀。

本实用新型的工作原理是：在分子泵停止工作后，通过过滤一体化节流装置与分子泵破空阀向分子泵内部缓慢放入适量的空气，使分子泵负载加大，最终达到使分子泵快速停止运转，放入空气所产生的负载是在分子泵承受范围以内的。

    本实用新型的优点是：本发明结构简单，所用材料为常规材料，成本低，延长了分子泵的使用寿命，能使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。

附图说明

    图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

    如图1所示，一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体1，所述的分子泵泵体1上分别设有两个中间进气口2和3和一个分子排气口4，所述的分子泵泵体1上分子排气口4处还设有分子泵破空阀5，所述的分子泵破空阀5还连接有过滤一体化节流装置6，可以有效过滤粉尘与水汽。

所述的分子泵破空阀5为通径小于0.75mm的两位两通常开阀。