[实用新型]一种输送硅片的吸盘装置有效
| 申请号： | 201220259180.1 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN202640363U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 孙明祥 | 申请（专利权）人： | 浙江好亚能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 314413 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 输送 硅片 吸盘 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，其特征在于所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。
2.根据权利要求1所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构。
3.根据权利要求2所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件；所述的螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件。
4.根据权利要求1所述的一种输送硅片的吸盘装置，其特征在于所述的吸盘脚上配合设置高度调节杆，该高度调节杆为中空结构。
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