[实用新型]一种输送硅片的吸盘装置

说明书

技术领域

本实用新型属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。

背景技术

目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染，又增加工人的劳动强度，无法提高工作效率，因此设计一种能够提供工作效率、无污染输送硅片的装置是非常必要的。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种输送硅片的吸盘装置的技术方案。

所述的一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。

所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构。

所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件；所述的螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件。

所述的一种输送硅片的吸盘装置，所述的吸盘脚上配合设置高度调节杆，该高度调节杆为中空结构。

本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1-吸盘固定座；2-硅片；3-升降气缸；4-吸盘脚；5-吸盘；6-高度调节杆；7-吸气管。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型做进一步说明：

一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座1和设置在吸盘固定座1上的升降机构，升降机构为气动升降机构或螺旋式升降机构，其中，气动升降机构由气缸和活塞构成相配合的升降部件，螺旋式升降机构由丝杠和螺母构成相配合的升降部件，本实用新型采用升降气缸3与活塞配合的方式；在吸盘固定座1下方设置三个吸盘脚4，也可以更多，但一般三个脚最为稳妥，吸盘脚4底部设置吸盘5，吸盘脚4为中空结构，吸盘5通过吸盘脚4的中空结构与吸盘固定座1上方的吸气管7相连，为了能够调整吸盘5与硅片2的高度一致，可以在吸盘脚4上配合设置中空结构的高度调节杆6；吸气管7与真空泵相连，靠真空泵提供负压，使吸盘5与硅片2紧密吸合，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连，通过PLC控制器控制真空泵和升降机构的动作关系。

使用时，通过升降气缸带动吸盘固定座升降，从而带动吸盘升降，当吸盘接触到硅片时，真空泵工作，在吸气管中产生负压，三只吸盘同时吸住硅片，然后提升升降气缸，将硅片移动到所需要的位置，真空泵停止工作，吸气管释放负压，吸盘松开硅片，从而达到输送硅片的目的。

本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。