[实用新型]一种晶圆允收测试设备有效
| 申请号： | 201220264047.5 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN202770936U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;瞿奇;陈玉立;梁俊娜 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/01 | 分类号： | G01R31/01 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆允收 测试 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆允收测试设备，其特征在于，包括：
探针器，所述探针器设有用于提供密闭空间的腔体；
设置于所述探针器的腔体底部、用于承载晶圆的承载底座；
设置于所述腔体内，且位于所述承载底座上方，并含有多个相互独立的探针卡托盘的探针卡托盘单元；
一固定设置于所述探针器顶部，且位于所述探针卡托盘单元上方的测试头；
设置于所述探针器的腔体侧壁，并旋转所述探针卡托盘单元使每个探针卡托盘置于测试头正下方的机械臂；
设置于每个所述探针卡托盘表面并用于插设探针卡的探针卡接口；以及，
若干探针卡。
2.如权利要求1所述的晶圆允收测试设备，其特征在于，所述晶圆允收测试设备还包括：
用于放置闲置探针卡的氮气储存盒。
3.如权利要求1所述的晶圆允收测试设备，其特征在于：所述探针卡托盘的数量大于三个时，所有探针卡托盘的圆心的连线呈正多边形。
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