[实用新型]一种晶圆允收测试设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路领域，且特别涉及集成电路测试设备。

背景技术

随着集成电路行业的不断发展，对于集成电路的测试要求也越来越高。在Foundry中，在制造过程中对于晶圆的测试显得更为重要。

在传统的晶圆允收测试（WAT）中，通常晶圆允收测试设备只设置有一个探针卡托盘单元搭配探针卡，对晶圆进行测试。而往往在对晶圆进行测试时，需要使用不同的Recipe来对晶圆进行测试。对于不同的Recipe，需要打开测试腔体更换对应的探针卡，再对晶圆进行测试。更换探针卡的时间需要15分钟，而且更换时打开测试腔体也会带来污染。而由于测试过程中经常需要人为更换探针卡，难免为增加对探针卡的损伤几率。

实用新型内容

为了克服上述问题，本实用新型提供一种具有使晶圆允收测试过程简单化，加快晶圆允收测试的速度，并且能够减少晶圆允收测试过程中的污染，减少换针过程中的误操作（MO）。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种晶圆允收测试设备，包括：

探针器，所述探针器设有用于提供密闭空间的腔体；

设置于所述探针器的腔体底部、用于承载晶圆的承载底座；

设置于所述腔体内，且位于所述承载底座上方，并含有多个相互独立的探针卡托盘的探针卡托盘单元；

一固定设置于所述探针器顶部，且位于所述探针卡托盘单元上方的测试头；

设置于所述探针器的腔体侧壁，并旋转所述探针卡托盘单元使每个探针卡托盘置于测试头正下方的机械臂；

设置于每个所述探针卡托盘表面并用于插设探针卡的探针卡接口；以及，

若干探针卡。

进一步地，所述晶圆允收测试设备还包括：用于放置闲置探针卡的氮气储存盒。

进一步地，所述探针卡托盘的数量大于三个时，所有探针卡托盘的圆心连线呈正多边形。

与现有技术相比，本实用新型所述的晶圆允收测试设备的有益效果主要表现在：提供多个探针卡托盘，配合不同测试所需要的探针卡，通过机械臂对应的移至测试头下方，使同一晶圆在不同Recipe测试时，避免了打开测试腔体来更换探针卡的操作，使晶圆允收测试过程简单化，提高晶圆允收测试的每小时晶圆吞吐量（WPH），减少晶圆允收测试过程中的污染。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的晶圆允收测试设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二的晶圆允收测试设备的结构示意图；

图3为本实用新型晶圆允收测试设备的探针器的结构示意图；

晶圆允收测试设备  1

测试头  2

探针器  11

氮气储存盒  12

探针卡托盘单元  3

探针卡托盘  31

探针卡接口  32

探针卡  4

承载底座  5

晶圆  6

机械臂  7

具体实施方式

下面结合附图对实用新型作进一步的描述。

实施例1

请参考图1，图1是本实用新型所述的晶圆允收测试设备的结构的一种实施方式。图3是本实用新型所述的晶圆测试设备的探针器的结构示意图。

晶圆允收测试设备1包括探针器11和氮气储存盒12。探针器11内的腔体提供密闭空间。探针器11的顶部固定设置有一测试头2。在测试头2的下方设置有一探针卡托盘单元3，探针卡托盘单元3上设置3个独立的探针卡托盘31，3个探针卡托盘31的圆心的连线呈等边三角形，每个探针卡托盘31上设置有用于插设探针卡4的探针卡接口32，可以通过设置于探针器11腔体内侧壁上的机械臂7对探针卡托盘单元3进行转动，使测试Recipe对应的探针卡4放置的探针卡托盘31置于测试头2的正下方。在探针器11的底部，设置有用于承载晶圆6的承载基座5。测试时，机械臂7转动对应的探针卡托盘31，使对应的探针卡托盘31上的探针卡4位于测试头2的正下方，所需测试的晶圆6与探针卡4、测试头2呈一直线。氮气储存盒12可以存放未使用过的探针卡4，也可以存放已使用过的探针卡4。