[实用新型]一种氯硅烷取样管路有效
| 申请号： | 201220268235.5 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202676516U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 徐浦敏 | 申请（专利权）人： | 四川瑞能硅材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;詹永斌 |
| 地址： | 620041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 取样 管路 | ||
【权利要求书】：
1.一种氯硅烷取样管路，包括主管线（1），所述主管线（1）将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于：在主管线（1）上连接有取样管线（3），该取样管线（3）在靠近取样口（4）处弯曲，使取样口（4）指向下，所述取样管线（3）上设置有取样控制阀（5）。
2.如权利要求1所述的氯硅烷取样管路，其特征在于：在主管线（1）上设置有进气控制阀（8）和出气控制阀（9），且分别位于主管线（1）上的取样管线（3）连接点的两侧，在主管线（1）上的取样管线（3）连接点与进气控制阀（8）之间连接有氮气管线（2），所述氮气管线（2）连接于氮气源上，所述氮气管线（2）上设置有氮气控制阀（7）。
3.如权利要求1或2所述的氯硅烷取样管路，其特征在于：所述取样管线（3）靠近取样口（4）处向下弯曲，在该弯曲处的顶部设置有取样排空阀（6）。
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