[实用新型]一种氯硅烷取样管路

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅技术领域，特别是一种多晶硅的尾气回收系统中氯硅烷的监控技术。

背景技术

多晶硅的生产过程中，监控尾气回收系统中的氯硅烷质量对多晶硅生产至关重要，影响着多晶硅的产品质量。

现有的多晶硅工艺过程中，在尾气回收系统的六套装置中共设置10个取样点，分析人员需要每天取样二次。在取样过程中，由于取样口的位置及其引流管的直径太小，同时在取样时需用大量干沙或者碱液对氯硅烷进行处理，取样现场存在着人员安全和质量隐患，给操作人员带了诸多工作不便，同时现有取样过程中存在如下缺陷：①取样口的引流管直径太小，易造成堵塞，增加了员工的不必要的工作量和检修成本；②取样口的位置靠近地面或地沟，取完样后地沟中含有大量的氯硅烷，造成水质污染；③地面的氯硅烷在清扫过程中易产生火花甚至起火；④操作现场的空气中弥漫着浓浓的刺激性气味，影响人员的呼吸和空气环境；⑤取样口暴露在空气中，雨天取样时氯硅烷与取样口的水滴发生化学反应，严重影响到取样的质量及其最后的分析结果；⑥现在取样中采用干沙或者是碱液处理氯硅烷的方式存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种结构简单，操作简便，安全可靠的氯硅烷取样管路，通过设置该取样管路，可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。

本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型的氯硅烷取样管路，包括主管线，所述主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于：在主管线上连接有取样管线，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，所述取样管线上设置有取样控制阀。

由于采用了上述结构，主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，并将其传输至环保车间进行环保处理，为了监控尾气回收系统中的氯硅烷质量，需要从主管线中提取部分尾气，因此在主管线上设置取样管线，用于取样，在该取样管线上设置有取样控制阀，便于控制主管线内向取样管线流出的氯硅烷的量，便于控制取样的量的大小，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，从而便于操作人员从取样口进行取样的操作，本实用新型的氯硅烷取样管路，改变氯硅烷取样管结构，使得取样口向下，从而根除安全隐患，且改变取样口结构，避免雨天取样时氯硅烷与取样口的水滴发生化学反应，保证取样质量及其分析结果的可靠性。

本实用新型的氯硅烷取样管路，在主管线上设置有进气控制阀和出气控制阀，且分别位于主管线上的取样管线连接点的两侧，在主管线上的取样管线连接点与进气控制阀之间连接有氮气管线，所述氮气管线连接于氮气源上，所述氮气管线上设置有氮气控制阀。

由于采用了上述结构，进气控制阀和出气控制阀，主要是用于控制主管线上的通气与否，从而便于控制整个主管线上的取样操作，在主管线上连接有氮气管线，所述氮气管线连接于氮气源上，便于向主管线和取样管线内通入氮气，便于氮气吹扫取样管线，消除残留于管线的氯硅烷气体，避免影响物料质量检测，因此氮气管线在主管线上的连接点，位于取样管线在主管线上的连接点至尾气源之间的主管线上。为了避免氮气倒流进入到尾气源中，因此在氮气管线位于主管线上的连接点至尾气源之间设置进气控制阀，一方面控制尾气的进入；另外一方面控制氮气进入到尾气中；同时为了避免补充的氮气直接进入环保车间，因此在取样管线在主管线上的连接点至环保车间之间的主管线上，设置出气控制阀，因此进气控制阀和出气控制阀分别位于主管线上的取样管线连接点的两侧。为了控制氮气进入到主管线的量，因此在氮气管线上设置有氮气控制阀。本实用新型的氯硅烷取样管路，氮气管线吹扫取样管线，消除残留于管线的氯硅烷气体，避免影响物料质量检测，减少物料排放和清洗取样管口次数。

本实用新型的氯硅烷取样管路，所述取样管线靠近取样口处向下弯曲，在该弯曲处的顶部设置有取样排空阀。    由于采用了上述结构，取样管线靠近取样口处向下弯曲，该弯曲部呈半圆形结构，取样口为一直段，该取样口指向下，操作人员可以在该取样口方便快捷地取样操作，在弯曲处的顶部设置有取样排空阀，从而便于取样管线内的开关，方便氮气进行吹扫，同时能够减少物料排放和清洗取样管口次数。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、    本实用新型的氯硅烷取样管路结构简单，操作简便，安全可靠，适合推广应用；