[实用新型]一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统分别跨越两种不同洁净区域的第一区域及第二区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区。

2.根据权利要求1所述之一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，其中该加载区、自动交换区和卸载区设置于第一区域内。

3.根据权利要求第1项所叙述之一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，其中该第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室设置于第二区域内。