[实用新型]旋转薄片盘状物夹持装置有效

专利信息
申请号: 201220297481.3 申请日: 2012-06-19
公开(公告)号: CN202712150U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 王浩 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
地址: 100015 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 旋转 薄片 盘状物 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种旋转薄片盘状物夹持装置,其特征在于,包括旋转丝杠(2)、竖直升降块(3)、水平移动块(4)、顶部固定块(6)、卡爪(7)和水平滑动轨道(11),其中,所述卡爪(7)安装在所述水平移动块(4)上,所述水平移动块(4)安装在所述水平滑动轨道(11)上,所述竖直升降块(3)和顶部固定块(6)安装在旋转丝杠(2)上,所述水平滑动轨道(11)安装在所述顶部固定块(6)上。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括安装于所述旋转丝杠(2)一端的驱动电机(1)。

3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述水平移动块(4)有四块,所述水平滑动轨道(11)有两个,每个所述水平滑动轨道(11)上安装有两块所述水平移动块(4)。

4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,所述装置还包括铰链连接杆(5),所述水平移动块(4)的下端安装有第一铰链连接结(10-1),所述竖直升降块上安装有第二铰链连接结(10-2),所述铰链连接杆(5)连接于所述第一铰链连接结(10-1)与第二铰链连接结(10-2)之间。

5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述卡爪(7)通过限位螺杆(8)和弹簧(9)安装在所述水平移动块(4)上。

6.如权利要求5所述的装置,其特征在于,所述限位螺杆(8)穿过所述水平移动块(4)上的长圆孔(12)以及所述卡爪(7)上的螺纹孔螺装在所述卡爪(7)上。

7.如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述驱动电机(1)为带自锁电机。

8.如权利要求1~7中任一项所述的装置,其特征在于,所述薄片盘状物为半导体晶片、光盘或平板显示器。

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