[实用新型]一种硅片甩胶装置有效
| 申请号： | 201220306183.6 | 申请日： | 2012-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN202725449U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王懋;孙云飞;吴东岷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片甩胶装置，包括甩胶盘本体，以及设置于甩胶盘本体下端的与电机相连接的机械固定机构，机械固定机构中间设有一真空通道，其特征在于：甩胶盘本体中设置有用于放置硅片的凹槽，凹槽中设有支撑硅片的凸台，凹槽的边缘为台阶结构；所述的真空通道与凹槽相连通；所述的甩胶盘本体上端面还设置有用于固定硅片的机械夹持机构。
2.根据权利要求1所述的一种硅片甩胶装置，其特征在于：所述甩胶盘本体的大小为两寸、四寸、六寸或八寸。
3.根据权利要求1所述的一种硅片甩胶装置，其特征在于：所述凹槽的数量为一个以上。
4.根据权利要求1所述的一种硅片甩胶装置，其特征在于：所述的台阶结构至少为一层。
5.根据权利要求1所述的一种硅片甩胶装置，其特征在于：所述机械夹持机构为螺纹夹持机构、卡键夹持机构和偏心轮夹持机构中任意一种或两种以上的组合。
6.根据权利要求1或5所述的一种硅片甩胶装置，其特征在于：所述机械夹持机构的数量为两个以上。
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