[实用新型]异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置

权利要求书

1.异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于是由惰轮组固定座（11）、固定座螺钉（12）、调整高度螺钉（13）、弹簧（14）、惰轮组（15）、惰轮组固定长孔（18）、惰轮组固定螺钉（17）、惰轮（19）及皮带或链条（120）所组成。

2.根据权利要求1所叙述之异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于惰轮组固定座（11），是一不锈钢长方形板。

3.根据权利要求1所叙述之异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于所述之弹簧（14），是一具有伸缩性的螺旋弹簧。

4.根据权利要求1所叙述之异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于所述之惰轮组（15），是一梯形不锈钢板，藉由惰轮组固定螺钉（17）固定在惰轮组固定座（11）上。

5.根据权利要求1所叙述之异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于所述之惰轮组固定长孔（18），是在惰轮组（15）上藉由机械加工出的长孔，使惰轮组固定螺钉（17）能上下活动。